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      一種全固態高功率連續波單頻紫外激光器

      文檔序號:42326924發布日期:2025-07-01 19:46閱讀:來源:國知局

      技術特征:

      1.一種全固態高功率連續波單頻紫外激光器,其特征在于,包括:綠光激光器、光準直偏振聚焦結構、倍頻諧振腔、諧振腔鎖定結構和bbo晶體;

      2.根據權利要求1所述的全固態高功率連續波單頻紫外激光器,其特征在于,所述光準直偏振聚焦結構沿激光傳輸方向依次包括:光準直單元、第三反射鏡、偏振控制單元和聚焦透鏡系統;綠光激光器發射的激光經所述光準直單元準直后,由所述第三反射鏡反射至所述偏振控制單元,改變入射激光的偏振態,聚焦透鏡系統將改變偏振態后的激光聚焦至諧振腔內。

      3.根據權利要求2所述的全固態高功率連續波單頻紫外激光器,其特征在于,所述光準直單元包括:第一平凸透鏡;所述第一平凸透鏡為準直透鏡;所述第一平凸透鏡用于將綠光激光器發射綠光準直為近平行光;近平行光是指以平行光為基準處于設定范圍內的光。

      4.根據權利要求2所述的全固態高功率連續波單頻紫外激光器,其特征在于,所述偏振控制單元包括:第一半波片、光隔離器和第二半波片;

      5.根據權利要求2所述的全固態高功率連續波單頻紫外激光器,其特征在于,所述聚焦透鏡系統包括第二平凸透鏡和平凹透鏡;第二平凸透鏡和平凹透鏡用于將改變偏振態的激光聚焦至諧振腔內,在入射鏡和第一反射鏡之間形成泵浦光腰斑。

      6.根據權利要求1所述的全固態高功率連續波單頻紫外激光器,其特征在于,還包括:溫度控制系統;

      7.根據權利要求1所述的全固態高功率連續波單頻紫外激光器,其特征在于,所述bbo晶體采用i類角度相位匹配的工作方式,產生倍頻光。

      8.根據權利要求1所述的全固態高功率連續波單頻紫外激光器,其特征在于,所述bbo晶體為設定尺寸的長方體;所述bbo晶體的兩個端面上均鍍有作用于基頻光和倍頻紫外光的減反膜。

      9.根據權利要求1所述的全固態高功率連續波單頻紫外激光器,其特征在于,諧振腔鎖定結構包括:第四反射鏡、四分之一波片、偏振分束棱鏡、第一探測器、減法器、pid鎖定裝置和第二探測器;

      10.根據權利要求8所述的全固態高功率連續波單頻紫外激光器,其特征在于,所述bbo晶體的設定尺寸為4×4×4mm;所述bbo晶體的設定溫度值為150℃。


      技術總結
      本申請公開了一種全固態高功率連續波單頻紫外激光器,涉及光電子和激光技術領域,該全固態高功率連續波單頻紫外激光器包括:綠光激光器、光準直偏振聚焦結構、倍頻諧振腔、諧振腔鎖定結構和BBO晶體;倍頻諧振腔沿激光傳輸方向包括入射鏡、第一反射鏡、壓電陶瓷、第二反射鏡和出射鏡;第一反射鏡固定在壓電陶瓷上;壓電陶瓷與諧振腔鎖定結構電連接;基于諧振腔鎖定結構的電壓輸出信號調整壓電陶瓷的伸縮量,以改變倍頻諧振腔的腔長;BBO晶體設置在第二反射鏡和出射鏡之間的束腰處。本申請能夠在提高激光輸出穩定特性的同時,提高激光轉化效率,保證光束質量。

      技術研發人員:李鳳琴,翁玉鵬,田佳慧,盧華東
      受保護的技術使用者:山西大學
      技術研發日:
      技術公布日:2025/6/30
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