本發(fā)明涉及一種襯底處理設備，更具體地涉及一種能夠單獨排出襯底處理過程中產生的氣體的襯底處理設備。
背景技術：
1、半導體工藝包括清洗襯底上的薄膜、污染物、顆粒等的過程。清洗過程是通過將襯底放在旋轉卡盤上，旋轉旋轉卡盤，然后在這種狀態(tài)下向襯底的頂表面供應處理液體來進行的。
2、根據供應用于處理襯底的處理液體，產生各種氣體。根據示例，當處理液體為硫酸溶液時產生硫酸氣體，當處理液體為標準清潔-1(sc-1)溶液時產生堿性氣體，當處理液體為異丙醇(ipa)時產生有機氣體。
3、一般情況下，由于氣體通過一個排氣管排出，因此各種性質的氣體會混合排出。氣體混合后，酸堿反應產生的顆粒會堆積在排氣路徑內，因此存在顆粒可能會干擾排氣的問題，并且可能不符合防止環(huán)境污染的氣體排放規(guī)定。
技術實現思路
1、本發(fā)明的目的在于提供一種襯底處理設備，所述設備能夠同時分別排放氣體與處理液體。
2、此外，本發(fā)明的目的還在于提供一種能夠防止在排氣過程中產生顆粒的襯底處理設備。
3、此外，本發(fā)明的目的還在于提供一種襯底處理設備，所述設備能夠通過分別排放氣體來防止環(huán)境污染。
4、此外，本發(fā)明的目的還在于提供一種能夠在多個排氣管中提供均勻壓力的襯底處理設備。
5、本發(fā)明的目的不限于此，本領域技術人員從以下描述中可以清楚地理解本文未陳述的其它目的。
6、本發(fā)明的示例性實施方式提供了一種襯底處理設備，所述襯底處理設備包括：杯單元，所述杯單元內具有處理空間；支撐單元，所述支撐單元在所述處理空間中支撐并旋轉襯底；液體供應單元，所述液體供應單元設置用于向支撐在所述支撐單元上的所述襯底供應從多種處理液體中選擇的處理液體；以及排氣單元，所述排氣單元使所述處理空間進行排氣，其中，所述杯單元包括：第一排水槽，所述第一排水槽設置成圍繞所述支撐單元的驅動軸，并具有第一回收空間，所述第一回收空間回收處理物；第一排水管，所述第一排水管聯接至所述第一排水槽，以排放在所述第一回收空間中回收的處理液體；第二排水槽，所述第二排水槽設置成圍繞所述第一排水槽，并具有第二回收空間，所述第二回收空間回收處理物；第二排水管，所述第二排水管聯接至所述第二排水槽，以排放在所述第二回收空間中回收的處理液體；第一引導杯，所述第一引導杯具有第一內表面，所述第一內表面將從支撐在所述支撐單元上的襯底濺出的處理液體引導至所述第一排水槽；以及第二引導杯，所述第二引導杯設置成被所述第一引導杯圍繞，并具有第二內表面，所述第二內表面將從支撐在所述支撐單元上的襯底濺出的處理液體引導至所述第二排水槽，其中，所述排氣單元包括：第一排氣槽，所述第一排氣槽設置在所述杯單元下方，并具有第一緩沖空間，流經第一通道的氣流流入所述第一緩沖空間，所述第一通道設置在所述第一引導杯的內表面與所述第二引導杯的外表面之間；第一排氣管，所述第一排氣管連接至所述第一排水槽，以排放流入所述第一緩沖空間的氣流；第二排氣槽，所述第二排氣槽設置在所述杯單元下方，并具有第二緩沖空間，流經第二通道的氣流流入所述第二緩沖空間，當從上方觀察時，所述第二通道設置成被所述第一排氣槽圍繞，并且設置在所述第二引導杯內部；以及第二排氣管，所述第二排氣管連接至所述第二排氣槽，以排放流入所述第二緩沖空間的氣流，并且其中，連接所述第一通道和所述第一緩沖空間的第一連接通道位于所述第一排水槽和所述第二排水槽之間，并且連接所述第二通道和所述第二緩沖空間的第二連接通道位于所述第二排水槽內部。
7、根據本發(fā)明的一個實施方式，當從上方觀察時，所述第一連接通道被設置為圍繞所述支撐單元的所述驅動軸的環(huán)形狹縫，或者可被設置為布置形成環(huán)形的多個孔。
8、根據本發(fā)明的一個實施方式，在所述第一緩沖空間中設置弧形引導板，所述引導板的位置高于所述第一排氣管與所述第一排氣槽連接的高度，并且當從上方觀察時，所述第一排氣管可在被所述引導板覆蓋的區(qū)域中連接至所述第一排氣槽。
9、根據本發(fā)明的一個實施方式，當從上方觀察時，所述第一排氣管在被所述引導板覆蓋的區(qū)域的中心處連接至所述第一排氣槽。
10、根據本發(fā)明的一個實施方式，當從上方觀察時，距離所述第一排氣管與所述第一排氣槽的連接點越遠，所述引導板的寬度越小。
11、根據本發(fā)明的一個實施方式，當從上方觀察時，所述第一排水槽的徑向寬度在所述第一排水槽的縱向方向上是恒定的，并且當從上方觀察時，在所述第一排氣管與所述第一排氣槽的連接點處，所述引導板的寬度可與所述第一排水槽的寬度相同。
12、根據本發(fā)明的一個實施方式，所述第二排氣槽可設置得比所述第一排氣槽更低。
13、根據本發(fā)明的一個實施方式，當從上方觀察時，將所述第一排氣管與所述第一排氣槽的連接點和驅動單元的驅動軸連接的線，以及將所述第二排氣管與所述第二排氣槽的連接點和驅動單元的驅動軸連接的線，可設置為不重疊。
14、根據本發(fā)明的實施方式，該設備還可包括升降單元，所述升降單元調節(jié)所述第一引導杯與所述第二引導杯之間的相對高度。
15、根據本發(fā)明的一個實施方式，當所述第一引導杯或所述第二引導杯向上移動時，所述第一排水槽的外壁或所述第二排水槽的外壁延伸得比所述第一排水槽的內壁或所述第二排水槽的內壁更遠，使得所述第一引導杯或所述第二引導杯的下端可保持與所述第一排水槽的外壁或所述第二排水槽的外壁接觸。
16、根據本發(fā)明的一個實施方式，該設備還可以包括從所述第二引導杯的外表面突出的氣液分離板，其中，當從上方觀察時，所述第二引導杯的外表面位于比所述第一排水槽的內壁更靠內側的位置，并且所述氣液分離板向下延伸至所述第一回收空間中，并可與所述第一排水槽的所述內壁間隔開。
17、根據本發(fā)明的一個實施方式，所述杯單元還包括第三引導杯，所述第三引導杯設置成被所述第二引導杯圍繞，并且所述第二通道可形成在所述第二引導杯的內表面與所述第三引導杯的外表面之間。
18、本發(fā)明的示例性實施方式提供了一種襯底處理設備，包括：杯單元，所述杯單元內具有處理空間；支撐單元，所述支撐單元在所述處理空間中支撐并旋轉襯底；液體供應單元，所述液體供應單元設置用于向支撐在所述支撐單元上的襯底供應從多種處理液體中選擇的處理液體；以及排氣單元，所述排氣單元使所述處理空間進行排氣，其中，所述杯單元包括：回收槽，所述回收槽回收所述處理液體；以及引導杯，所述引導杯將所述處理液體引導至所述回收槽，所述回收槽提供回收空間，在比所述回收槽更靠內側的位置形成供氣體排出的通道，所述排氣單元包括：排氣槽，所述排氣槽設置在所述杯單元下方，并且沿所述通道以環(huán)形設置；以及排氣管，所述排氣管連接至所述排氣槽，所述排氣槽內具有緩沖空間，并且在所述緩沖空間中設置弧形引導板。
19、根據本發(fā)明的一個實施方式，所述引導板的位置高于所述排氣管與所述排氣槽連接的高度，并且當從上方觀察時，所述排氣管可在被所述引導板覆蓋的區(qū)域中連接至所述排氣槽。
20、根據本發(fā)明的一個實施方式，所述排氣管可在被所述引導板覆蓋的區(qū)域的中心處連接至所述排氣槽。
21、根據本發(fā)明的一個實施方式，當從上方觀察時，距離所述排氣管與所述排氣槽的連接點越遠，所述引導板的寬度越小。
22、根據本發(fā)明的一個實施方式，當從上方觀察時，所述排水槽的徑向寬度在所述排水槽的縱向方向上是恒定的，并且當從上方觀察時，在所述排氣管與所述排氣槽的連接點處，所述引導板的寬度可與所述排水槽的寬度相同。
23、本發(fā)明的示例性實施方式提供了一種襯底處理設備，包括：杯單元，所述杯單元內具有處理空間；支撐單元，所述支撐單元在所述處理空間中支撐并旋轉襯底；液體供應單元，所述液體供應單元設置用于向支撐在所述支撐單元上的襯底供應從多種處理液體中選擇的處理液體；升降單元，所述升降單元調節(jié)所述杯單元與所述支撐單元之間的相對高度；以及排氣單元，所述排氣單元使所述處理空間進行排氣，其中，所述杯單元包括：第一排水槽，所述第一排水槽設置成圍繞所述支撐單元的驅動軸，并具有第一回收空間，所述第一回收空間回收處理物；第一排水管，所述第一排水管聯接至所述第一排水槽，以排放在所述第一回收空間中回收的處理液體；第二排水槽，所述第二排水槽設置成圍繞所述第一排水槽，并具有第二回收空間，所述第二回收空間回收處理物；第二排水管，所述第二排水管聯接至所述第二排水槽，以排放在所述第二回收空間中回收的處理液體；第一引導杯，所述第一引導杯具有第一內表面，所述第一內表面將從支撐在所述支撐單元上的襯底濺出的處理液體引導至所述第一排水槽；以及第二引導杯，所述第二引導杯設置成被所述第一引導杯圍繞，并具有第二內表面，所述第二內表面將從支撐在所述支撐單元上的襯底濺出的處理液體引導至所述第二排水槽，所述升降單元調節(jié)所述第一引導杯與所述第二導引杯之間的相對高度，當所述第一引導杯或所述第二引導杯向上移動時，所述第一排水槽的外壁或所述第二排水槽的外壁延伸得比所述第一排水槽的內壁或所述第二排水槽的內壁更遠，使得所述第一引導杯或所述第二引導杯的下端保持與所述第一排水槽的外壁或所述第二排水槽的外壁接觸，所述排氣單元包括：第一排氣槽，所述第一排氣槽設置在所述杯單元下方，并具有第一緩沖空間，流經第一通道的氣流流入所述第一緩沖空間，所述第一通道設置在所述第一引導杯的內表面與所述第二引導杯的外表面之間；第一排氣管，所述第一排氣管連接至所述第一排水槽，以排放流入所述第一緩沖空間的氣流；第二排氣槽，所述第二排氣槽設置在所述杯單元下方，并具有第二緩沖空間，流經第二通道的氣流流入所述第二緩沖空間，當從上方觀察時，所述第二通道設置成被所述第一排氣槽圍繞，并且設置在所述第二引導杯內部；以及第二排氣管，所述第二排氣管連接至所述第二排氣槽，以排放流入所述第二緩沖空間的氣流，并且連接所述第一通道和所述第一緩沖空間的第一連接通道位于所述第一排水槽和所述第二排水槽之間，并且連接所述第二通道和所述第二緩沖空間的第二連接通道位于所述第二排水槽內部，在所述第一緩沖空間中設置弧形引導板，當從上方觀察時，所述第一排氣管在被所述引導板覆蓋的區(qū)域的中心處連接至所述第一排氣槽，所述引導板的位置高于所述第一排氣管與所述第一排氣槽連接的高度，并且當從上方觀察時，距離所述第一排氣管與所述第一排氣槽的連接點越遠，所述引導板的寬度越小。
24、根據本發(fā)明的一個實施方式，當從上方觀察時，第一排水槽的徑向寬度在第一排水槽的縱向方向上是恒定的，并且當從上方觀察時，在所述第一排氣管與所述第一排氣槽的連接點處，所述引導板的寬度可與所述第一排水槽的寬度相同。
25、根據本發(fā)明的一個實施方式，所述第二排氣槽設置得比所述第一排氣槽更低，并且當從上方觀察時，將所述第一排氣管與所述第一排氣槽的連接點和驅動單元的驅動軸連接的線，以及將所述第二排氣管與所述第二排氣槽的連接點和驅動單元的驅動軸連接的線，可設置為不重疊。
26、根據本發(fā)明的實施方式，可以分別排放氣體和處理液體。
27、此外，根據本發(fā)明的實施方式，可以防止在排氣過程中產生顆粒。
28、此外，根據本發(fā)明的實施方式，可以通過分別排放氣體來防止環(huán)境污染。
29、此外，根據本發(fā)明的實施方式，可以在多個排氣管中提供均勻的壓力。
30、本發(fā)明的效果不限于上述效果，本領域技術人員根據說明書和附圖將清楚地理解上述未提及的效果。