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      存儲(chǔ)器核心電路和包括所述存儲(chǔ)器核心電路的存儲(chǔ)器設(shè)備的制作方法

      文檔序號(hào):42326482發(fā)布日期:2025-07-01 19:45閱讀:14來(lái)源:國(guó)知局

      示例實(shí)施例大體上涉及半導(dǎo)體集成電路,且更特定來(lái)說(shuō),涉及具有外圍上單元(cell?on?periphery,cop)結(jié)構(gòu)的存儲(chǔ)器核心電路及包括所述存儲(chǔ)器核心電路的存儲(chǔ)器設(shè)備。


      背景技術(shù):

      1、由于期望高性能電子產(chǎn)品小型化和多功能,因此可以實(shí)現(xiàn)高度集成以提供高容量集成電路設(shè)備。隨著諸如動(dòng)態(tài)隨機(jī)訪(fǎng)問(wèn)存儲(chǔ)器(dram)設(shè)備的存儲(chǔ)器設(shè)備的特征尺寸減小,可以使用用于驅(qū)動(dòng)存儲(chǔ)器設(shè)備的電路的有效布置。

      2、在現(xiàn)有技術(shù)中,dram設(shè)備具有開(kāi)放位線(xiàn)結(jié)構(gòu),其中形成互補(bǔ)對(duì)的兩條位線(xiàn)存在于不同的單元塊上,并且兩條位線(xiàn)分布在位線(xiàn)感測(cè)放大器的兩側(cè)。根據(jù)傳統(tǒng)dram設(shè)備的單元晶體管的特征實(shí)施方式的限制和實(shí)施方式難度的增加,目前正在進(jìn)行研究以實(shí)現(xiàn)具有垂直溝道晶體管(vct)的單元晶體管,以減小dram設(shè)備的尺寸。即使采用垂直結(jié)構(gòu)來(lái)減小存儲(chǔ)器設(shè)備的尺寸,存儲(chǔ)器設(shè)備的尺寸減小也可能由于用于驅(qū)動(dòng)存儲(chǔ)單元(memory?cell)陣列的電路而受到限制。


      技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

      1、一些示例實(shí)施例可提供一種存儲(chǔ)器核心電路及一種包括所述存儲(chǔ)器核心電路的存儲(chǔ)器設(shè)備,其能夠有效地設(shè)置被配置為驅(qū)動(dòng)存儲(chǔ)單元陣列的核心控制電路。

      2、根據(jù)本發(fā)明的方面,一種存儲(chǔ)器核心電路包括:存儲(chǔ)單元陣列,其包括多個(gè)子單元陣列,所述多個(gè)子單元陣列布置于包括多個(gè)陣列行及多個(gè)陣列列的第一矩陣中;及核心控制電路,其包括多個(gè)子外圍電路,所述多個(gè)子外圍電路以包括所述多個(gè)陣列行及所述多個(gè)陣列列的第二矩陣布置,其中每一子外圍電路位于所述多個(gè)子單元陣列中的對(duì)應(yīng)子單元陣列下方,其中每一子單元陣列包括分別連接到多個(gè)字線(xiàn)及多個(gè)位線(xiàn)的多個(gè)存儲(chǔ)單元,其中所述多個(gè)字線(xiàn)沿行方向延伸且沿列方向布置,其中所述多個(gè)位線(xiàn)在所述列方向上延伸并且在所述行方向上布置,其中每個(gè)子外圍電路被分成第一列邊緣區(qū)域、第二列邊緣區(qū)域和中心區(qū)域,所述第一列邊緣區(qū)域和所述第二列邊緣區(qū)域?qū)?yīng)于每個(gè)子外圍電路在所述列方向上的兩個(gè)端部,并且所述中心區(qū)域在所述第一列邊緣區(qū)域和所述第二列邊緣區(qū)域之間,其中包括分別感測(cè)所述多個(gè)位線(xiàn)的電壓的多個(gè)位線(xiàn)感測(cè)放大器的感測(cè)放大器區(qū)域在所述第一列邊緣區(qū)域及所述第二列邊緣區(qū)域中的至少一個(gè)中,其中包括分別驅(qū)動(dòng)所述多個(gè)字線(xiàn)的多個(gè)子字線(xiàn)驅(qū)動(dòng)器的字線(xiàn)驅(qū)動(dòng)器區(qū)域在所述中心區(qū)域中,且其中被配置為控制所述存儲(chǔ)器核心電路的設(shè)備外圍電路的至少一部分在除所述感測(cè)放大器區(qū)域及所述字線(xiàn)驅(qū)動(dòng)器區(qū)域以外的剩余區(qū)域中。

      3、根據(jù)本發(fā)明的方面,一種存儲(chǔ)器核心電路包括:存儲(chǔ)單元陣列,其包括多個(gè)子單元陣列,所述多個(gè)子單元陣列布置于包括多個(gè)陣列行及多個(gè)陣列列的第一矩陣中;及核心控制電路,其包括多個(gè)子外圍電路,所述多個(gè)子外圍電路布置于包括所述多個(gè)陣列行及所述多個(gè)陣列列的第二矩陣中,其中每一子外圍電路位于所述多個(gè)子單元陣列中的對(duì)應(yīng)子單元陣列下方,其中每一子單元陣列包括:多個(gè)動(dòng)態(tài)隨機(jī)訪(fǎng)問(wèn)存儲(chǔ)器(dram)單元,其分別連接到多個(gè)字線(xiàn)及多個(gè)位線(xiàn),其中所述多個(gè)字線(xiàn)沿行方向延伸且沿列方向布置,其中,所述多個(gè)位線(xiàn)在所述列方向上延伸并且在所述行方向上布置,其中,所述多個(gè)子外圍電路中的每個(gè)子外圍電路被分成第一列邊緣區(qū)域、第二列邊緣區(qū)域和中心區(qū)域,所述第一列邊緣區(qū)域和所述第二列邊緣區(qū)域?qū)?yīng)于每個(gè)子外圍電路在所述列方向上的兩個(gè)端部,并且所述中心區(qū)域在所述第一列邊緣區(qū)域和所述第二列邊緣區(qū)域之間,其中包括分別感測(cè)所述多個(gè)位線(xiàn)的電壓的多個(gè)位線(xiàn)感測(cè)放大器的感測(cè)放大器區(qū)域位于所述第一列邊緣區(qū)域及所述第二列邊緣區(qū)域中的至少一個(gè)中,其中包括分別驅(qū)動(dòng)所述多個(gè)字線(xiàn)的多個(gè)子字線(xiàn)驅(qū)動(dòng)器的字線(xiàn)驅(qū)動(dòng)器區(qū)域位于所述中心區(qū)域中,且其中被配置為產(chǎn)生多個(gè)列選擇信號(hào)的列解碼器位于除所述感測(cè)放大器區(qū)域及所述字線(xiàn)驅(qū)動(dòng)器區(qū)域以外的剩余區(qū)域中。

      4、根據(jù)本發(fā)明的一方面,一種存儲(chǔ)器設(shè)備包括:存儲(chǔ)器核心電路;及設(shè)備外圍電路,其被配置為控制所述存儲(chǔ)器核心電路,所述存儲(chǔ)器核心電路包括存儲(chǔ)單元陣列,所述存儲(chǔ)單元陣列包括布置于第一矩陣中的多個(gè)子單元陣列,所述第一矩陣包括多個(gè)陣列行及多個(gè)陣列列;以及核心控制電路,其包括多個(gè)子外圍電路,所述多個(gè)子外圍電路布置在包括所述多個(gè)陣列行和所述多個(gè)陣列列的第二矩陣中,其中每個(gè)子外圍電路設(shè)置在所述多個(gè)子單元陣列中的對(duì)應(yīng)子單元陣列下方,其中每個(gè)子單元陣列包括分別連接到多個(gè)字線(xiàn)和多個(gè)位線(xiàn)的多個(gè)存儲(chǔ)單元,其中所述多個(gè)字線(xiàn)在行方向上延伸并且在列方向上布置,其中,所述多個(gè)位線(xiàn)在所述列方向上延伸并且在所述行方向上布置,其中,所述多個(gè)子外圍電路中的每個(gè)子外圍電路被分成第一列邊緣區(qū)域、第二列邊緣區(qū)域和中心區(qū)域,所述第一列邊緣區(qū)域和所述第二列邊緣區(qū)域?qū)?yīng)于每個(gè)子外圍電路在所述列方向上的兩個(gè)端部,并且所述中心區(qū)域在所述第一列邊緣區(qū)域和所述第二列邊緣區(qū)域之間,其中包括分別感測(cè)所述多個(gè)位線(xiàn)的電壓的多個(gè)位線(xiàn)感測(cè)放大器的感測(cè)放大器區(qū)域在所述第一列邊緣區(qū)域及所述第二列邊緣區(qū)域中的至少一個(gè)中,其中包括分別驅(qū)動(dòng)所述多個(gè)字線(xiàn)的多個(gè)子字線(xiàn)驅(qū)動(dòng)器的字線(xiàn)驅(qū)動(dòng)器區(qū)域在所述中心區(qū)域中,且其中被配置為控制所述存儲(chǔ)器核心電路的設(shè)備外圍電路的至少一部分在除所述感測(cè)放大器區(qū)域及所述字線(xiàn)驅(qū)動(dòng)器區(qū)域以外的剩余區(qū)域中。



      技術(shù)特征:

      1.一種存儲(chǔ)器核心電路,包括:

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的存儲(chǔ)器核心電路,還包括:

      3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的存儲(chǔ)器核心電路,其中,所述列解碼器包括對(duì)應(yīng)于所述多個(gè)陣列列的多個(gè)解碼器塊,并且

      4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的存儲(chǔ)器核心電路,其中,相對(duì)于所述多個(gè)子外圍電路中的每個(gè)子外圍電路,所述中心區(qū)域在所述行方向上被劃分為第一子中心區(qū)域和第二子中心區(qū)域,所述第一子中心區(qū)域和所述第二子中心區(qū)域中的一個(gè)對(duì)應(yīng)于所述字線(xiàn)驅(qū)動(dòng)器區(qū)域,并且

      5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的存儲(chǔ)器核心電路,其中,相對(duì)于在所述列方向上彼此相鄰的第一子外圍電路和第二子外圍電路,所述第一子外圍電路的所述第一子中心區(qū)域和所述第二子外圍電路的所述第一子中心區(qū)域?qū)?yīng)于所述列解碼器區(qū)域。

      6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的存儲(chǔ)器核心電路,其中,所述多個(gè)列選擇線(xiàn)包括第一多個(gè)列選擇線(xiàn)和第二多個(gè)列選擇線(xiàn),并且

      7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的存儲(chǔ)器核心電路,其中,相對(duì)于在所述列方向上彼此相鄰的第一子外圍電路及第二子外圍電路,所述第一子外圍電路的所述第一子中心區(qū)域?qū)?yīng)于所述列解碼器區(qū)域且所述第二子外圍電路的所述第二子中心區(qū)域?qū)?yīng)于所述列解碼器區(qū)域。

      8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的存儲(chǔ)器核心電路,其中,所述第一子外圍電路中的所述列解碼器區(qū)域和所述子外圍電路中的所述列解碼器區(qū)域在沒(méi)有沿所述行方向延伸的行傳導(dǎo)路徑的情況下連接到所述多個(gè)列選擇線(xiàn)。

      9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的存儲(chǔ)器核心電路,其中,所述多個(gè)子外圍電路包括第一子外圍電路、第二子外圍電路、第三子外圍電路和第四子外圍電路,

      10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的存儲(chǔ)器核心電路,其中,相對(duì)于所述多個(gè)子外圍電路中的每一子外圍電路,所述中心區(qū)域在所述行方向上被劃分成第一子中心區(qū)域及第二子中心區(qū)域,

      11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的存儲(chǔ)器核心電路,其中,所述多個(gè)子外圍電路中的每一子外圍電路包括第一多個(gè)位線(xiàn)感測(cè)放大器,

      12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的存儲(chǔ)器核心電路,其中,在一個(gè)陣列列中沿所述列方向布置的子外圍電路中的每一奇數(shù)編號(hào)的子外圍電路不包括位線(xiàn)感測(cè)放大器,且在所述一個(gè)陣列列中沿所述列方向布置的所述子外圍電路中的每一偶數(shù)編號(hào)的子外圍電路包括連接到4n個(gè)位線(xiàn)的4n個(gè)位線(xiàn)感測(cè)放大器,所述4n個(gè)位線(xiàn)中的每一位線(xiàn)對(duì)應(yīng)于所述一個(gè)陣列列的每一相應(yīng)偶數(shù)編號(hào)的子外圍電路,其中n是自然數(shù),使得所述4n個(gè)位線(xiàn)感測(cè)放大器中的第一2n個(gè)位線(xiàn)感測(cè)放大器在每個(gè)偶數(shù)編號(hào)的子外圍電路的所述第一列邊緣區(qū)域中,并且所述4n個(gè)位線(xiàn)感測(cè)放大器中的第二2n個(gè)位線(xiàn)感測(cè)放大器在每個(gè)偶數(shù)編號(hào)的子外圍電路的所述第二列邊緣區(qū)域中,并且

      13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的存儲(chǔ)器核心電路,其中,所述多個(gè)子外圍電路中的每一子外圍電路包括第一多個(gè)位線(xiàn)感測(cè)放大器,

      14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的存儲(chǔ)器核心電路,其中,相對(duì)于在所述行方向上彼此相鄰的第一子外圍電路和第二子外圍電路,所述第一子外圍電路不包括所述字線(xiàn)驅(qū)動(dòng)器區(qū)域且所述第二子外圍電路包括對(duì)應(yīng)于所述中心區(qū)域的所述字線(xiàn)驅(qū)動(dòng)器區(qū)域。

      15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的存儲(chǔ)器核心電路,其中,相對(duì)于在所述列方向上彼此相鄰的第一子外圍電路和第二子外圍電路,所述第一子外圍電路不包括所述感測(cè)放大器區(qū)域,且所述第二子外圍電路包括對(duì)應(yīng)于所述第一列邊緣區(qū)域的第一感測(cè)放大器區(qū)域和對(duì)應(yīng)于所述第二列邊緣區(qū)域的第二感測(cè)放大器區(qū)域。

      16.根據(jù)權(quán)利要求1所述的存儲(chǔ)器核心電路,其中,所述多個(gè)子外圍電路中的每一子外圍電路的所述字線(xiàn)驅(qū)動(dòng)器區(qū)域包括:

      17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的存儲(chǔ)器核心電路,還包括:

      18.根據(jù)權(quán)利要求1所述的存儲(chǔ)器核心電路,其中,每個(gè)存儲(chǔ)單元包括:

      19.一種存儲(chǔ)器核心電路,包括:

      20.一種存儲(chǔ)器設(shè)備,包括:

      21.根據(jù)權(quán)利要求20所述的存儲(chǔ)器設(shè)備,其中,所述多個(gè)子外圍電路中的第一子外圍電路的第一剩余區(qū)域在x和y方向上延伸,其中所述第一子外圍電路相對(duì)于z方向在第一子單元陣列下方。

      22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的存儲(chǔ)器設(shè)備,其中,所述第一子外圍電路的所述第一列邊緣區(qū)域占據(jù)在所述x方向和所述y方向上延伸的第一矩形區(qū)域,所述第一子外圍電路的所述第二列邊緣區(qū)域占據(jù)在所述x方向和所述y方向上延伸的第二矩形區(qū)域,所述第一子外圍電路的第一中心區(qū)域占據(jù)在所述x方向和所述y方向上延伸的第三矩形區(qū)域,第一矩形區(qū)域和第二矩形區(qū)域相對(duì)于穿過(guò)第一中心區(qū)域的線(xiàn)對(duì)稱(chēng)地放置,所述線(xiàn)在x方向上延伸,并且所述第一中心區(qū)域在所述第一矩形區(qū)域和所述第二矩形區(qū)域之間。

      23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的存儲(chǔ)器設(shè)備,其中,所述第一剩余區(qū)域占據(jù)在所述x方向和所述y方向上延伸的第四矩形區(qū)域,所述第四矩形區(qū)域在所述第一中心區(qū)域內(nèi),所述第一子外圍電路的第一字線(xiàn)驅(qū)動(dòng)器區(qū)域占據(jù)在所述x方向和所述y方向上延伸的第五矩形區(qū)域,且所述第四矩形區(qū)域和所述第五矩形區(qū)域在所述第一中心區(qū)域內(nèi)并排設(shè)置。


      技術(shù)總結(jié)
      一種存儲(chǔ)器核心電路,包括包括子單元陣列的存儲(chǔ)單元陣列和包括子單元陣列下方的子外圍電路的核心控制電路。子外圍電路被分成第一列邊緣區(qū)域和第二列邊緣區(qū)域以及中心區(qū)域。中心區(qū)域在第一列邊緣區(qū)域和第二列邊緣區(qū)域之間。包括多個(gè)位線(xiàn)感測(cè)放大器的感測(cè)放大器區(qū)域設(shè)置在第一列邊緣區(qū)域和第二列邊緣區(qū)域中的至少一個(gè)中。包括多個(gè)子字線(xiàn)驅(qū)動(dòng)器的字線(xiàn)驅(qū)動(dòng)器區(qū)域設(shè)置在中心區(qū)域中。被配置為控制存儲(chǔ)器核心電路的設(shè)備外圍電路的至少一部分被設(shè)置在除了感測(cè)放大器區(qū)域和字線(xiàn)驅(qū)動(dòng)器區(qū)域之外的剩余區(qū)域中。

      技術(shù)研發(fā)人員:鄭尚勛,姜映宇,樸哲權(quán),任政燉,俞昌植,樸乾雨,樸榮奭,尹炫喆
      受保護(hù)的技術(shù)使用者:三星電子株式會(huì)社
      技術(shù)研發(fā)日:
      技術(shù)公布日:2025/6/30
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