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      半導(dǎo)體裝置的制作方法

      文檔序號(hào):42322290發(fā)布日期:2025-07-01 19:38閱讀:12來(lái)源:國(guó)知局

      本揭露關(guān)于一種半導(dǎo)體裝置。


      背景技術(shù):

      1、半導(dǎo)體裝置包括不同類(lèi)型的記憶體,例如隨機(jī)存取記憶體(random-accessmemory,ram)、只讀記憶體(read-only?memory,rom)和電熔絲(electrical?fuse,efuse)記憶體。efuse記憶體是一種可程序化非揮發(fā)性記憶體(non-volatile?memory,nvm),在半導(dǎo)體裝置斷電時(shí)不會(huì)遺失數(shù)據(jù)。通常,efuse使用位于端子之間的窄條導(dǎo)電材料(稱(chēng)為熔斷絲)整合到半導(dǎo)體裝置中。為了對(duì)efuse進(jìn)行編程,需要向熔絲體施加電流以改變?nèi)劢z體的電阻率。使用感測(cè)電路(例如讀出放大器)來(lái)讀取efuse的狀態(tài),即它是否已被編程。


      技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

      1、根據(jù)本揭露的一些實(shí)施例,半導(dǎo)體裝置包含基板、讀出放大器以及多個(gè)位元單元。讀出放大器包含具有延伸到基板中的多個(gè)第一漏極/源極區(qū)的多個(gè)第一環(huán)繞式柵極場(chǎng)效晶體管。多個(gè)位元單元包含多個(gè)熔絲記憶元件和多個(gè)第二環(huán)繞式柵極場(chǎng)效晶體管。各位元單元包含熔絲記憶元件,其具有第一端子和第二端子。第一端子連接至讀出放大器的輸入端,第二端子連接至第二環(huán)繞式柵極場(chǎng)效晶體管。第二環(huán)繞式柵極場(chǎng)效晶體管包含多個(gè)第二漏極/源極區(qū)和底部介電隔離層,且底部介電隔離層位于這些第二漏極/源極區(qū)下方。

      2、根據(jù)本揭露的一些實(shí)施例,半導(dǎo)體裝置包含基板、至少一讀出放大器以及多個(gè)位元單元。讀出放大器包含多個(gè)第一環(huán)繞式柵極場(chǎng)效晶體管和多個(gè)第二環(huán)繞式柵極場(chǎng)效晶體管。這些第一環(huán)繞式柵極場(chǎng)效晶體管具有延伸至基板中的多個(gè)第一漏極/源極區(qū)。各第二環(huán)繞式柵極場(chǎng)效晶體管包含多個(gè)第二漏極/源極區(qū)和底部介電隔離層,且底部介電隔離層位于這些第二漏極/源極區(qū)下方。多個(gè)位元單元包含多個(gè)氧化銦鎵鋅晶體管,各位元單元連接至讀出放大器并配置以將至少一位元數(shù)據(jù)儲(chǔ)存在熔絲或反熔絲中。

      3、根據(jù)本揭露的一些實(shí)施例,半導(dǎo)體裝置包含基板、多個(gè)第一環(huán)繞式柵極場(chǎng)效晶體管、多個(gè)第二環(huán)繞式柵極場(chǎng)效晶體管以及多個(gè)熔絲記憶元件。多個(gè)第一環(huán)繞式柵極場(chǎng)效晶體管包含延伸至基板中的多個(gè)第一漏極/源極區(qū),且這些第一環(huán)繞式柵極場(chǎng)效晶體管是至少一讀出放大器的一部分。多個(gè)第二環(huán)繞式柵極場(chǎng)效晶體管包含多個(gè)第二漏極/源極區(qū)和底部介電隔離層,且底部介電隔離層位于這些第二漏極/源極區(qū)下方。這些第二環(huán)繞式柵極場(chǎng)效晶體管中的至少一個(gè)連接至這些熔絲記憶元件中的至少一個(gè)。



      技術(shù)特征:

      1.一種半導(dǎo)體裝置,其特征在于,包含:

      2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,其中各該第二環(huán)繞式柵極場(chǎng)效晶體管包含與所述多個(gè)第二漏極/源極區(qū)接觸的該底部介電隔離層。

      3.如權(quán)利要求1或2所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,其中各該第二環(huán)繞式柵極場(chǎng)效晶體管包含在所述多個(gè)第二漏極/源極區(qū)中的一個(gè)下方的該底部介電隔離層的一第一段和以及在所述多個(gè)第二漏極/源極區(qū)中的另一個(gè)下方的該底部介電隔離層的一第二段。

      4.如權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,其中該第一段與所述多個(gè)第二漏極/源極區(qū)中的一個(gè)接觸,且該第二段與所述多個(gè)第二漏極/源極區(qū)中的另一個(gè)接觸。

      5.如權(quán)利要求1或2所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,其中各該第二環(huán)繞式柵極場(chǎng)效晶體管包含從所述多個(gè)第二漏極/源極區(qū)中的一個(gè)延伸至所述多個(gè)第二漏極/源極區(qū)中的另一個(gè)的該底部介電隔離層的一段。

      6.如權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,其中該段與所述多個(gè)第二漏極/源極區(qū)中的一個(gè)和所述多個(gè)第二漏極/源極區(qū)中的另一個(gè)接觸。

      7.一種半導(dǎo)體裝置,其特征在于,包含:

      8.如權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,其中各該位元單元包含至少二個(gè)串聯(lián)連接的所述多個(gè)氧化銦鎵鋅晶體管以提供一反熔絲位元單元。

      9.如權(quán)利要求7或8所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,其中該至少一讀出放大器位于該半導(dǎo)體裝置的一第一平面上,且所述多個(gè)位元單元位于該半導(dǎo)體裝置的至少一第二平面上,該至少一第二平面不同于該半導(dǎo)體裝置的該第一平面。

      10.一種半導(dǎo)體裝置,其特征在于,包含:


      技術(shù)總結(jié)
      揭示了一種半導(dǎo)體裝置。一種記憶體裝置包含基板;讀出放大器,包含具有延伸到基板中的多個(gè)第一漏極/源極區(qū)的多個(gè)第一環(huán)繞式柵極場(chǎng)效晶體管;以及多個(gè)位元單元,包含多個(gè)熔絲記憶元件和多個(gè)第二環(huán)繞式柵極場(chǎng)效晶體管。各位元單元包含熔絲記憶元件,其具有第一端子和第二端子。第一端子連接至讀出放大器的輸入端,第二端子連接至第二環(huán)繞式柵極場(chǎng)效晶體管。第二環(huán)繞式柵極場(chǎng)效晶體管包含多個(gè)第二漏極/源極區(qū)和底部介電隔離層,且底部介電隔離層位于這些第二漏極/源極區(qū)下方。

      技術(shù)研發(fā)人員:張盟昇,黃家恩,王奕
      受保護(hù)的技術(shù)使用者:臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司
      技術(shù)研發(fā)日:20240913
      技術(shù)公布日:2025/6/30
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