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      一種排氣管道的制作方法

      文檔序號:4540793閱讀:310來源:國知局
      一種排氣管道的制作方法
      【專利摘要】本實用新型的實施例提供一種排氣管道,涉及氣體冷凝【技術(shù)領(lǐng)域】,提高了產(chǎn)品品質(zhì),同時降低了生產(chǎn)成本。該排氣管道具體包括:一水平設(shè)置的進氣管、一水平設(shè)置的出氣管、一非水平設(shè)置的第一中間管和一非水平設(shè)置的第二中間管,其中:所述進氣管的非進氣端通過側(cè)管與底管連通;所述底管與所述第一中間管的下端連通;所述第一中間管的上端通過頂管與所述第二中間管的上端連通;所述第二中間管的下端通過側(cè)管與底管連通;所述底管與所述出氣管的非出氣端連通。本實用新型的實施例應(yīng)用于氣體冷凝工藝中。
      【專利說明】一種排氣管道
      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001]本實用新型涉及氣體冷凝【技術(shù)領(lǐng)域】,尤其涉及一種排氣管道。
      【背景技術(shù)】
      [0002]隨著九十年代薄膜場效應(yīng)晶體管-液晶顯示器(Thin Film Transistor-LiquidCrystal Display,簡稱TFT-1XD)技術(shù)的成熟,液晶顯示面板由于其平板、輕薄、低功耗、多樣化、環(huán)保性等優(yōu)點得到迅速發(fā)展。隨著玻璃基板大型化,為保證產(chǎn)品的合格率,各步工藝的均一性面臨更大挑戰(zhàn)。清洗、濕刻及剝離是TFT-1XD工藝中三個重要環(huán)節(jié)。清洗是對投入的以及成膜前的玻璃進行清洗用以去除各種影響品質(zhì)的顆粒;濕刻是利用混合酸液對玻璃表面光刻未覆蓋的金屬進行刻蝕,從而形成所需要的金屬圖案;剝離是利用剝離液對玻璃上的未被顯影的光刻膠進行去除。
      [0003]在實際工藝過程中,設(shè)備反應(yīng)單元均安裝排氣管道用以對反應(yīng)區(qū)間揮發(fā)的氣體進行冷凝回收,目的為減少生產(chǎn)事故,提高產(chǎn)品品質(zhì),降低成本。在實際應(yīng)用中,排氣管道的形狀以及內(nèi)部結(jié)構(gòu)對冷凝的效果以及成本的控制有很大的關(guān)聯(lián)。現(xiàn)有的排氣管道的結(jié)構(gòu)簡單,排氣管道內(nèi)部全部為空心,只靠管道外的空氣進行冷凝,因此冷凝效果較差。冷凝回流的液體直接通過排氣管道進入廢氣管道。這樣,藥液的使用效率較低,同時不利于成本的降低。
      實用新型內(nèi)容
      [0004]本實用新型的實施例提供一種排氣管道,提高了產(chǎn)品品質(zhì),同時降低了生產(chǎn)成本。
      [0005]為達到上述目的,本實用新型的實施例采用如下技術(shù)方案:
      [0006]第一方面,提供一種排氣管道,包括:一水平設(shè)置的進氣管、一水平設(shè)置的出氣管、一非水平設(shè)置的第一中間管和一非水平設(shè)置的第二中間管,其中:
      [0007]所述進氣管的非進氣端通過側(cè)管與底管連通;所述底管與所述第一中間管的下端連通;
      [0008]所述第一中間管的上端通過頂管與所述第二中間管的上端連通;
      [0009]所述第二中間管的下端通過側(cè)管與底管連通;所述底管與所述出氣管的非出氣端連通。
      [0010]可選的,所述排氣管道還包括:一非水平設(shè)置的第一直管和一非水平設(shè)置的第二直管,其中:
      [0011]所述第一直管的上端通過側(cè)管與所述進氣管的非進氣端連通,所述第一直管的下端通過底管與所述第一中間管的下端連通;
      [0012]所述第二直管的上端通過側(cè)管與所述出氣管的非出氣端連通,所述第二直管的下端通過底管與所述第二中間管的下端連通。
      [0013]可選的,所述排氣管道具有至少兩個第一中間管和至少兩個第二中間管;
      [0014]所述第一中間管與所述第二中間管之間通過至少一個所述底管或至少一個所述頂管連通。
      [0015]可選的,所述底管的下端設(shè)置有接口。
      [0016]可選的,所述第一直管的下端、所述第一中間管的下端、所述第二中間管的下端、所述第二直管的下端、所述第一直管的上端、所述第二直管的上端、所述第一中間管的上端和所述第二中間管的上端設(shè)置有接口。
      [0017]可選的,所述第一中間管、所述第二中間管、所述第一直管和所述第二直管的內(nèi)部均設(shè)置有N個細(xì)直管;
      [0018]所述細(xì)直管之間的空隙的上端和下端密封;其中,N為正整數(shù)。
      [0019]可選的,所述第一中間管、所述第二中間管、所述第一直管和所述第二直管用于進氣的一端設(shè)置成凹形曲面;
      [0020]所述第一中間管、所述第二中間管、所述第一直管和所述第二直管用于出氣的一端設(shè)置成平面。
      [0021]可選的,所述細(xì)直管之間的空隙中裝有冷凝劑。
      [0022]可選的,所述第一中間管的長度大于所述第一直管、所述第二直管的長度;
      [0023]所述第二中間管的長度大于所述第一直管、所述第二直管的長度。
      [0024]可選的,所述出氣管上設(shè)置有壓力調(diào)節(jié)閥。
      [0025]本實用新型的實施例提供的排氣管道,通過將排氣管道采用多個彎管式的走向設(shè)計,提高了產(chǎn)品品質(zhì),同時降低了生產(chǎn)成本。
      【專利附圖】

      【附圖說明】
      [0026]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案,下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例,對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
      [0027]圖1為本實用新型的實施例提供的一種排氣管道的結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0028]圖2為本實用新型的實施例提供的另一種排氣管道的結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0029]圖3為本實用新型的實施例提供的又一種排氣管道的結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0030]圖4為本實用新型的另一實施例提供的一種排氣管道的結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0031]圖5為本實用新型的實施例提供的一種排氣管道的第一直管、第二直管、第一中間管和第二中間管的進氣端的側(cè)面圖;
      [0032]圖6為本實用新型的實施例提供的一種排氣管道的第一直管、第二直管、第一中間管和第二中間管的出氣端的側(cè)面圖。
      [0033]附圖標(biāo)記:1-進氣管;2_出氣管;3_第一中間管;4_第二中間管;5-側(cè)管;6-底管;7-頂管;8_第一直管;9_第二直管;10a-接口 ;10b-接口 ;10c_接口 ;11_細(xì)直管。
      【具體實施方式】
      [0034]下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖,對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例,而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本實用新型保護的范圍。
      [0035]本實用新型的實施例提供一種排氣管道,參照圖1所示,包括:一水平設(shè)置的進氣管1、一水平設(shè)置的出氣管2、一非水平設(shè)置的第一中間管3和一非水平設(shè)置的第二中間管4,其中:
      [0036]進氣管I的非進氣端通過側(cè)管5與底管6連通;底管6與第一中間管3的下端連通。
      [0037]第一中間管3的上端通過頂管7與第二中間管4的上端連通。
      [0038]第二中間管4的下端通過側(cè)管5與底管6連通;側(cè)管5與出氣管2的非出氣端連通。
      [0039]本實用新型的實施例提供的排氣管道,通過將排氣管道采用多個彎管式的走向設(shè)計,提高了產(chǎn)品品質(zhì),同時降低了生產(chǎn)成本。
      [0040]進一步,參照圖2所示,本實用新型的實施例提供的排氣管道,還包括:一非水平設(shè)置的第一直管8和一非水平設(shè)置的第二直管9,其中:
      [0041]第一直管8的上端通過側(cè)管5與進氣管I的非進氣端連通,第一直管8的下端通過底管6與第一中間管3的下端連通。
      [0042]第二直管9的上端通過側(cè)管5與出氣管2的非出氣端連通,第二直管9的下端通過底管6與第二中間管4的下端連通。
      [0043]進一步,該排氣管道具有至少兩個第一中間管和至少兩個第二中間管。
      [0044]具體的,參照圖3所示,以第一中間管為兩個和第二中間管為兩個為例,進行說明。
      [0045]參照圖4所示,第一中間管3與第二中間管4之間通過至少一個底管6或至少一個頂管7連通。
      [0046]底管6的下端設(shè)置有接口 10a。
      [0047]第一直管8的下端、第一中間管3的下端、第二中間管4的下端、第二直管9的下端設(shè)置有接口 10b。
      [0048]第一直管8的上端、第二直管9的上端、第一中間管3的上端和第二中間管4的上端設(shè)置有接口 10c。
      [0049]其中,上述接口的形狀可以根據(jù)實際中裝置的需求進行設(shè)計,此處不做限定。在本實用新型的實施例中,優(yōu)選的各個接口的形狀如圖4中所示。底管下端的接口 10a,主要用于回收冷凝后的氣體,可以增加藥液的使用效率。第一直管的上端、第一中間管的上端、第二中間管的上端和第二直管上端的接口 10c,主要用于冷凝液的流出,以便于冷凝液可以回收再利用,降低生產(chǎn)成本,減少對冷凝液的浪費。第一直管的下端、第一中間管的下端、第二中間管的下端和第二直管的下端的接口 10b,主要用于冷凝液的進入。
      [0050]如圖5、圖6中所示,第一中間管3、第二中間管4、第一直管8和第二直管9的內(nèi)部均設(shè)置有N個細(xì)直管11。
      [0051]細(xì)直管11之間的空隙的上端和下端密封;其中,N為正整數(shù)。
      [0052]第一中間管3、第二中間管4、第一直管8和第二直管9用于進氣的一端設(shè)置成凹形曲面。
      [0053]第一中間管3、第二中間管4、第一直管8和第二直管9用于出氣的一端設(shè)置成平面。
      [0054]第一中間管、第二中間管、第一直管和第二直管的進氣端設(shè)計為凹形曲面可以減小氣體在剛進入管道內(nèi)部時與排氣管道間的摩擦力,可以增大單位時間內(nèi)進入排氣管道的氣體的體積,可以再最短的時間內(nèi)保證氣體達到最大程度的冷凝效果。第一中間管、第二中間管、第一直管和第二直管的出氣端設(shè)計為平面,可以保證氣體平穩(wěn)的從管道流出,進而減少生產(chǎn)時間。
      [0055]細(xì)直管11之間的空隙中裝有冷凝劑。
      [0056]在本實用新型的實施例中,冷凝劑優(yōu)選冷凝水。這樣,由于冷凝水可以循環(huán)利用,能節(jié)省整個生產(chǎn)工藝的成本。當(dāng)然,冷凝劑并不限于只是冷凝水,可以根據(jù)具體的生產(chǎn)工藝選擇適合的冷凝劑。
      [0057]第一中間管3的長度大于第一直管8、第二直管9的長度。
      [0058]第二中間管4的長度大于第一直管8、第二直管9的長度。
      [0059]進一步,出氣管2上設(shè)置有壓力調(diào)節(jié)閥11。
      [0060]具體的,壓力調(diào)節(jié)閥可以適時的調(diào)節(jié)廢氣的排出速度,保證氣體最大程度的冷凝。
      [0061]本實用新型的排氣管道中,細(xì)直管用于氣體的通過,細(xì)直管之間的空隙中裝有冷凝水。這樣,可以增大冷凝水與氣體的接觸面積,提高氣體的冷凝效果,減少廢氣的排出。
      [0062]對于液晶行業(yè)中的清洗、濕刻和剝離工藝,在實際的工藝流程中,均會有氣體揮發(fā)出來,因此需要安裝排氣管道對氣體進行冷凝回收,但是現(xiàn)有的排氣管道結(jié)構(gòu)簡單不利于氣體的充分冷凝,達不到應(yīng)有的冷凝效果生產(chǎn)事故多,但是采用本實用新型的排氣管道,由于整個排氣管道設(shè)計成U型的結(jié)構(gòu),相比于現(xiàn)有技術(shù),可以極大的提高氣體的冷凝效果。同時,排氣管道的第一中間管、第二中間管、第一直管和第二直管中安裝有細(xì)直管,且細(xì)直管之間的空隙中有冷凝劑,氣體在細(xì)直管之間的空隙中流通,與冷凝劑充分接觸,可以保證氣體的冷凝效果。并通過底管的接口可以及時的回收冷凝后的氣體,有效的降低氣體的冷凝時間保證整個生產(chǎn)工藝的順利進行。
      [0063]當(dāng)然,該排氣管道不只是應(yīng)用于液晶行業(yè)中的清洗、濕刻和剝離工藝中,對于類似的制造工藝,有氣體排出并需要冷凝的生產(chǎn)工藝均可以適用。
      [0064]本實用新型的實施例提供的排氣管道,通過將排氣管道采用多個彎管式的走向設(shè)計,提高了產(chǎn)品品質(zhì),同時降低了生產(chǎn)成本。進而,可以減少生產(chǎn)事故的發(fā)生。
      [0065]以上所述,僅為本實用新型的【具體實施方式】,但本實用新型的保護范圍并不局限于此,任何熟悉本【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員在本實用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi),可輕易想到變化或替換,都應(yīng)涵蓋在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。因此,本實用新型的保護范圍應(yīng)以所述權(quán)利要求的保護范圍為準(zhǔn)。
      【權(quán)利要求】
      1.一種排氣管道,其特征在于,包括:一水平設(shè)置的進氣管、一水平設(shè)置的出氣管、一非水平設(shè)置的第一中間管和一非水平設(shè)置的第二中間管,其中: 所述進氣管的非進氣端通過側(cè)管與底管連通;所述底管與所述第一中間管的下端連通; 所述第一中間管的上端通過頂管與所述第二中間管的上端連通; 所述第二中間管的下端通過側(cè)管與底管連通;所述底管與所述出氣管的非出氣端連通。
      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的排氣管道,其特征在于,所述排氣管道還包括:一非水平設(shè)置的第一直管和一非水平設(shè)置的第二直管,其中: 所述第一直管的上端通過側(cè)管與所述進氣管的非進氣端連通,所述第一直管的下端通過底管與所述第一中間管的下端連通; 所述第二直管的上端通過側(cè)管與所述出氣管的非出氣端連通,所述第二直管的下端通過底管與所述第二中間管的下端連通。
      3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的排氣管道,其特征在于,所述排氣管道具有至少兩個所述第一中間管和至少兩個所述第二中間管; 所述第一中間管與所述第二中間管之間通過至少一個所述底管或至少一個所述頂管連通。
      4.根據(jù)權(quán)利要求1?3任一所述的排氣管道,其特征在于, 所述底管的下端設(shè)置有接口。
      5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的排氣管道,其特征在于, 所述第一直管的下端、所述第一中間管的下端、所述第二中間管的下端、所述第二直管的下端、所述第一直管的上端、所述第二直管的上端、所述第一中間管的上端和所述第二中間管的上端設(shè)置有接口。
      6.根據(jù)權(quán)利要求3或5所述的排氣管道,其特征在于,所述第一中間管、所述第二中間管、所述第一直管和所述第二直管的內(nèi)部均設(shè)置有N個細(xì)直管; 所述細(xì)直管之間的空隙的上端和下端密封;其中,N為正整數(shù)。
      7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的排氣管道,其特征在于, 所述第一中間管、所述第二中間管、所述第一直管和所述第二直管用于進氣的一端設(shè)置成凹形曲面; 所述第一中間管、所述第二中間管、所述第一直管和所述第二直管用于出氣的一端設(shè)置成平面。
      8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的排氣管道,其特征在于, 所述細(xì)直管之間的空隙中裝有冷凝劑。
      9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的排氣管道,其特征在于, 所述第一中間管的長度大于所述第一直管、所述第二直管的長度; 所述第二中間管的長度大于所述第一直管、所述第二直管的長度。
      10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的排氣管道,其特征在于, 所述出氣管上設(shè)置有壓力調(diào)節(jié)閥。
      【文檔編號】F28B3/00GK203454835SQ201320280584
      【公開日】2014年2月26日 申請日期:2013年5月21日 優(yōu)先權(quán)日:2013年5月21日
      【發(fā)明者】謝少華, 侯智, 吳代吾, 楊子衡, 王明明, 喻玥, 胡偉, 肖冠華 申請人:合肥京東方光電科技有限公司, 京東方科技集團股份有限公司
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