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      一種納米復(fù)合膜及其制備方法和應(yīng)用與流程

      文檔序號(hào):42728194發(fā)布日期:2025-08-12 17:44閱讀:14來(lái)源:國(guó)知局

      本發(fā)明屬于納米復(fù)合膜,尤其涉及一種納米復(fù)合膜及其制備方法和應(yīng)用。


      背景技術(shù):

      1、在x射線管中,由高能電子束轟擊陽(yáng)極靶盤產(chǎn)生x射線,除少數(shù)高能電子轉(zhuǎn)換為x射線外,大多數(shù)高能電子以熱量的形式耗散。在正常工作中,陽(yáng)極靶盤會(huì)受到高能電子束的轟擊,陽(yáng)極旋轉(zhuǎn)組件的轉(zhuǎn)速達(dá)到幾千甚至上萬(wàn)轉(zhuǎn),軸承的服役溫度最高可超過(guò)400℃,高溫環(huán)境下,軸承的潤(rùn)滑劑容易揮發(fā)或失效,降低潤(rùn)滑能力,鋼球與軌道件構(gòu)成的摩擦副因疲勞磨損和黏著磨損失效,加速了軸承鋼球的磨損失效速率,最終會(huì)引發(fā)軸承卡死,造成x射線管早期失效。

      2、目前,陽(yáng)極靶盤在使用的過(guò)程中通過(guò)鍍銀或者鍍鉛潤(rùn)滑。鍍鉛時(shí)由于鉛熔點(diǎn)較低,高溫下?lián)]發(fā)就會(huì)導(dǎo)致潤(rùn)滑作用失效。鍍銀時(shí)由于銀膜和基體的結(jié)合力較弱,會(huì)造成膜層整體的剝落,并擠壓到軌道外側(cè),使銀膜起不到潤(rùn)滑的效果。

      3、例如cn115376871a公開了一種x射線管及x射線發(fā)生裝置,該x射線管的軸承組件在位于承載陽(yáng)極靶盤的近端位置的表面涂覆第一潤(rùn)滑層的第一滾動(dòng)體和多個(gè)被構(gòu)造為位于承載陽(yáng)極靶盤的遠(yuǎn)端位置的表面涂覆第二潤(rùn)滑層的第二滾動(dòng)體,第一潤(rùn)滑層保持固態(tài)的溫度更高,所述第一潤(rùn)滑層為鍍銀層,所述第二潤(rùn)滑層為鍍鉛層或鍍二硫化鉬層,沒(méi)有涉及到如何提高銀層與陽(yáng)極靶盤的結(jié)合力。

      4、例如cn114540768a公開了一種x光機(jī)球管軸承固體潤(rùn)滑的鍍銀鍍鉛復(fù)合鍍層工藝,該工藝包括以下工序:清潔鋼球,對(duì)鋼球進(jìn)行鍍銀,對(duì)鋼球表面持續(xù)的進(jìn)行做功,對(duì)鋼球進(jìn)行鍍鉛,對(duì)鋼球表面持續(xù)的進(jìn)行做功,然而該工藝包括多次的真空處理、高壓處理和除雜質(zhì)處理,操作復(fù)雜度較高,而且復(fù)雜的工藝可能導(dǎo)致鍍層厚度不均勻,影響潤(rùn)滑效果和使用壽命,另外鉛具有一定的毒性,操作風(fēng)險(xiǎn)以及對(duì)環(huán)境的污染較大。

      5、鑒于此,如何開發(fā)一種納米復(fù)合膜及其制備方法,在高溫環(huán)境下保證所述納米復(fù)合膜與基體的結(jié)合力和穩(wěn)定性,充分發(fā)揮潤(rùn)滑作用以有效改善機(jī)械軸承組件的摩擦性能,是目前本領(lǐng)域亟待解決的問(wèn)題。


      技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

      1、為解決上述技術(shù)問(wèn)題,本發(fā)明提供了一種納米復(fù)合膜及其制備方法和應(yīng)用,所述納米復(fù)合膜與基體之間的結(jié)合力較強(qiáng),且結(jié)構(gòu)熱穩(wěn)定,能夠有效發(fā)揮潤(rùn)滑作用,解決了現(xiàn)有技術(shù)鍍鉛或鍍銀因熔點(diǎn)低或者受熱后薄膜與基體結(jié)合力較弱導(dǎo)致膜層易脫落和潤(rùn)滑作用失效的問(wèn)題。

      2、為達(dá)此目的,本發(fā)明采用以下技術(shù)方案:

      3、第一方面,本發(fā)明提供了一種納米復(fù)合膜,所述納米復(fù)合膜包括依次層疊設(shè)置的鎳層、銅層和銀層;所述鎳層包括層疊設(shè)置的n層鎳鎢合金層,n≥2(例如可以是2、3、4、5、6、7、8、9或10等),且至少2層(例如可以是2層、3層、4層、5層或6層等)所述鎳鎢合金層的鎢含量不同。

      4、本發(fā)明所述納米復(fù)合膜通過(guò)設(shè)計(jì)依次層疊設(shè)置的鎳層、銅層和銀層的多層膜結(jié)構(gòu),以及對(duì)所述鎳層的元素組成及結(jié)構(gòu)的優(yōu)化設(shè)計(jì),提高了所述銀層與基體之間的結(jié)合力,從而提高了基體的耐磨性能;其中,設(shè)計(jì)所述鎳層層疊設(shè)置的n層鎳鎢合金層,n≥2,且至少2層所述鎳鎢合金層的鎢含量不同,不僅能夠提高所述納米復(fù)合膜的耐高溫性以及所述鎳層與基體之間的結(jié)合力,同時(shí)降低了內(nèi)應(yīng)力,避免其在沉積的過(guò)程中產(chǎn)生裂紋,從而提高銀層在基體上的附著力,避免脫落導(dǎo)致基體發(fā)生嚴(yán)重磨損。

      5、優(yōu)選地,所述鎳層的硬度為3gpa~10gpa,例如可以是3gpa、5gpa、8gpa或10gpa等。

      6、優(yōu)選地,所述鎳層包括層疊設(shè)置的2~8層鎳鎢合金層,例如可以是2層、3層、4層、5層、6層、7層或8層等。

      7、優(yōu)選地,以各所述鎳鎢合金層的原子百分含量為100%計(jì),各所述鎳鎢合金層的鎢含量各自獨(dú)立地為1%~30%,例如可以是1%、3%、5%、8%、10%、12%、15%、18%、20%、22%、25%、28%或30%等。

      8、優(yōu)選地,沿所述鎳層向所述銅層的方向,各所述鎳鎢合金層的鎢含量梯度增大。

      9、本發(fā)明進(jìn)一步優(yōu)選沿所述鎳層向所述銅層的方向,各所述鎳鎢合金層的鎢含量梯度增大,即進(jìn)一步優(yōu)選所述n層鎳鎢合金層是鎢含量梯度增大的單一結(jié)構(gòu),相較于傳統(tǒng)的不添加鎢含量的鎳層或者鎢含量單一不變的鎳鎢合金層,本發(fā)明設(shè)計(jì)鎢含量梯度增大的單一結(jié)構(gòu),減少了內(nèi)應(yīng)力,避免了裂紋的產(chǎn)生,提高了所述鎳層與基體之間的結(jié)合力,繼而提高銀層在基體上的附著力,從而減少磨損。

      10、優(yōu)選地,所述鎳層包括周期設(shè)置的第一鎳鎢合金層和第二鎳鎢合金層,且所述第一鎳鎢合金層的鎢含量低于所述第二鎳鎢合金層的鎢含量。

      11、優(yōu)選地,所述鎳層的循環(huán)周期數(shù)為2~4,例如可以是2、3或4。

      12、即所述鎳層包括周期設(shè)置的4層、6層或8層鎳鎢合金層。

      13、優(yōu)選地,以所述第一鎳鎢合金層的原子百分含量為100%計(jì),所述第一鎳鎢合金層中鎢含量為1%~5%,例如可以是1%、1.5%、2%、2.5%、3%、3.5%、4%、4.5%或5%等。

      14、優(yōu)選地,以所述第二鎳鎢合金層的原子百分含量為100%計(jì),所述第二鎳鎢合金層中鎢含量為10%~30%,例如可以是10%、12%、15%、18%、20%、22%、25%、28%或30%等。

      15、本發(fā)明進(jìn)一步優(yōu)選所述鎳層包括周期設(shè)置的第一鎳鎢合金層和第二鎳鎢合金層,且所述第一鎳鎢合金層的鎢含量低于所述第二鎳鎢合金層的鎢含量;即設(shè)計(jì)鎢含量周期性變化的重復(fù)結(jié)構(gòu),且與基體直接接觸的所述第一鎳鎢合金層的鎢含量較低,為軟鎳層,使其與基體之間的結(jié)合力更強(qiáng),內(nèi)部應(yīng)力的減少更明顯,從而更進(jìn)一步提高銀層的附著力以明顯改善磨損。

      16、優(yōu)選地,所述鎳層的厚度為50~500nm,例如可以是50nm、80nm、100nm、150nm、200nm、250nm、300nm、350nm、400nm、450nm或500nm等。

      17、優(yōu)選地,所述銅層的厚度為50~100nm,例如可以是50nm、60nm、70nm、80nm、90nm或100nm等。

      18、優(yōu)選地,所述銀層的厚度為100~1000nm,例如可以是100nm、200nm、300nm、400nm、500nm、600nm、700nm、800nm、900nm或1000nm等。

      19、第二方面,本發(fā)明提供了一種第一方面所述的納米復(fù)合膜的制備方法,所述制備方法包括如下步驟:

      20、先在基體上依次電沉積n層鎳鎢合金層得到鎳層,n≥2(例如可以是2、3、4、5、6、7、8、9或10等);再在所述鎳層上依次制備銅層和銀層,得到所述納米復(fù)合膜;其中,至少2層(例如可以是2層、3層、4層、5層或6層等)所述鎳鎢合金層的鎢含量不同。

      21、本發(fā)明所述制備方法采用電沉積的方式進(jìn)行,成功制備出結(jié)構(gòu)穩(wěn)定且與基體結(jié)合力強(qiáng)的納米復(fù)合膜,操作簡(jiǎn)單、成本低,易于規(guī)模化生產(chǎn)。

      22、優(yōu)選地,所述電沉積采用的電鍍液包括20~100g/l鎳源、30~300g/l鎢源和150~250g/l絡(luò)合劑。

      23、其中,20~100g/l鎳源,例如可以是20g/l、30g/l、40g/l、50g/l、60g/l、70g/l、80g/l、90g/l或100g/l等;30~300g/l鎢源,例如可以是30g/l、50g/l、80g/l、100g/l、150g/l、200g/l、250g/l或300g/l等;150~250g/l絡(luò)合劑,例如可以是150g/l、180g/l、200g/l、220g/l或250g/l等。

      24、優(yōu)選地,所述鎳源包括六水合硫酸鎳。

      25、優(yōu)選地,所述鎢源包括二水合鎢酸鈉。

      26、優(yōu)選地,所述絡(luò)合劑包括二水檸檬酸鈉。

      27、優(yōu)選地,所述電鍍液的ph為4~9,例如可以是4、5、6、7、8或9等。

      28、優(yōu)選地,所述電沉積的溫度為40~80℃,例如可以是40℃、50℃、60℃、70℃或80℃等。

      29、優(yōu)選地,所述電沉積的平均電流密度為5~40ma/cm2,例如可以是5ma/cm2、8ma/cm2、10ma/cm2、15ma/cm2、20ma/cm2、25ma/cm2、30ma/cm2、35ma/cm2或40ma/cm2等。

      30、優(yōu)選地,所述制備方法還包括對(duì)所述鎳層進(jìn)行除氣處理。

      31、優(yōu)選地,所述除氣處理的溫度為50~200℃,例如可以是50℃、80℃、100℃、120℃、150℃、180℃或200℃等。

      32、優(yōu)選地,所述除氣處理的時(shí)間為1~24h,例如可以是1h、2h、4h、8h、16h或24h等。

      33、優(yōu)選地,所述制備銅層和銀層的方式各自獨(dú)立地包括電鍍、熱噴涂、磁控濺射、離子輔助沉積或化學(xué)氣相沉積中的任意一種。

      34、第三方面,本發(fā)明提供了一種第一方面所述的納米復(fù)合膜的應(yīng)用,所述納米復(fù)合膜用作x射線管中軸承組件的表面膜層。

      35、本發(fā)明所述納米復(fù)合膜的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、與基體結(jié)合力強(qiáng),能夠用作x射線管中軸承組件的表面膜層,能夠保證在高溫環(huán)境下,所述軸承組件與所述納米復(fù)合膜之間的優(yōu)異結(jié)合力,從而充分發(fā)揮其中所述銀層的潤(rùn)滑作用,延長(zhǎng)x射線管中軸承組件的使用壽命。

      36、與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明至少具有以下有益效果:

      37、(1)本發(fā)明提供的納米復(fù)合膜,通過(guò)優(yōu)化所述鎳層的結(jié)構(gòu)并調(diào)控其鎢含量,以構(gòu)建梯度過(guò)渡,減小內(nèi)部殘余應(yīng)力,使所述納米復(fù)合膜與基體的結(jié)合力增強(qiáng),在進(jìn)行滑動(dòng)耐磨損測(cè)試5min后平均摩擦系數(shù)低至0.20以下,且在120kev電子束流轟擊靶盤,軸承轉(zhuǎn)速6000rpm時(shí),運(yùn)行50000秒,軸承噪聲低至65db以下,且軸承無(wú)碎屑剝落,從而有效發(fā)揮銀層的潤(rùn)滑作用,減小后續(xù)高溫環(huán)境下軸承組件使用過(guò)程的摩擦。

      38、(2)本發(fā)明提供的納米復(fù)合膜的制備方法,所述制備方法采用電沉積的方式,通過(guò)調(diào)控平均電流密度、電鍍液配方以及沉積時(shí)間等參數(shù),制備出結(jié)構(gòu)穩(wěn)定的納米復(fù)合膜,所述制備方法操作簡(jiǎn)單、成本低,易于規(guī)模化生產(chǎn)。

      39、(3)本發(fā)明提供的納米復(fù)合膜的應(yīng)用,所述納米復(fù)合膜與基體結(jié)合力較強(qiáng),不易脫落,在高溫環(huán)境下仍有效,使其應(yīng)用廣泛,尤其用作x射線管中軸承組件的表面膜層,能夠保證在高溫環(huán)境下所述軸承組件與所述納米復(fù)合膜之間的優(yōu)異結(jié)合力,從而充分發(fā)揮其中所述銀層的潤(rùn)滑作用,延長(zhǎng)x射線管中軸承組件的使用壽命。

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