本發明涉及末端執行器(end?effector)和具有末端執行器的基板傳送裝置。
背景技術：
1、半導體制造工藝是制造能夠處理電信號的半導體產品的工藝，并且包括通過諸如氧化、光刻、刻蝕、離子注入和沉積等加工工序來在晶圓上形成圖案的加工工藝(前端工藝)和通過對具有圖案的晶圓進行諸如切割、芯片鍵合、布線、成型、標記和測試等工序來制造成品形狀的半導體封裝的封裝步驟(后端工藝)。在用于執行相應的工藝的半導體制造設施處執行半導體制造工藝，并且半導體制造設施各自被配置為在負載的晶圓上執行工藝，然后使晶圓放電。半導體制造設施具有用于傳送晶圓的一個或多個晶圓傳送機械手。
2、然而，晶圓傳送機械手可能會因不同類型材料的接觸而產生摩擦生電而部分地破壞晶圓表面上的納米級圖案。特別是，在晶圓傳送機械手是諸如磁懸浮的非接觸式驅動晶圓傳送機械手的情況下，當機器人被驅動時，存在高的靜電充電的可能性，并且當沒有適當的放電措施防止靜電充電時，存在因驅動功率轉換單元的部件中產生火花而導致高的用戶觸電事故和部件損害的風險。
技術實現思路
1、本發明的目的是提供一種能夠中和帶電基板表面的電荷的末端執行器以及具有末端執行器的基板傳送裝置。
2、本發明的目的是提供一種當積聚在基板中的靜電電荷達到閾值電壓時、可以通過誘導向基板的相反側的放電來防止對基板的損害的末端執行器和具有末端執行器的基板傳送裝置。
3、本公開內容的目的不限于此，并且本領域普通技術人員將從以下描述中清楚地理解未提及的其他目的。
4、根據本公開的一方面，可以提供一種基板傳送裝置，該基板傳送裝置包括：機械手單元，該機械手單元安裝在臂部的端部處并且具有支承基板的末端執行器；以及移動單元，該移動單元移動機械手單元，其中，該末端執行器包括：本體；支承件，該支承件安裝在本體上并且支承基板的下側；以及火花隙，該火花隙安裝在本體上，并且該火花隙在積聚在基板上的電荷達到閾值時誘導向本體的外部放電。
5、進一步地，該火花隙可以具有尖的前端、以將電荷集中在火花隙周圍并誘導放電。
6、進一步地，該火花隙可以具有圓形的截面、并且具有其中截面的尺寸朝向端部逐漸減小且前端定位在中心處的形狀。
7、進一步地，該本體可以包括：基部部分，該基部部分連接到臂部的端部；以及指狀部分，該指狀部分從基部部分延伸并從基板的邊緣定位在外部、以圍繞安設區域，基板定位在安設區域中，并且支承件安裝在指狀部分的內表面上并且具有預定間隙，該預定間隙圍繞安設區域一樣。
8、進一步地，該火花隙可以水平地安裝在指狀部分的外表面上，并且火花隙設置成使得前端面向安設區域的相對方向。
9、進一步地，該末端執行器還可以包括電暈放電電極，該電暈放電電極通過電暈放電產生離子并通過離子中和基板的靜電。
10、進一步地，該電暈放電電極可以設置為具有尖的前端的放電引腳(dischargepin)。
11、進一步地，該放電引腳的前端可以定位成高于基板的圖案表面。
12、進一步地，該移動單元可以以無線功率傳輸類型驅動。
13、根據本公開的另一方面，可以提供一種支承基板的末端執行器，該末端執行器包括：本體；以及火花隙，該火花隙安裝在本體上，并且該火花隙在積聚在基板上的電荷達到閾值時誘導向本體的外部放電。
14、進一步地，該火花隙可以具有尖的前端、以將電荷集中在火花隙周圍并誘導放電。
15、進一步地，該火花隙可以具有圓形的截面，并且具有其中截面的尺寸朝向端部逐漸減小且前端定位在中心處的形狀。
16、進一步地，該本體可以包括：基部部分，該基部部分連接到臂部的端部；指狀部分，該指狀部分從基部部分延伸并從基板的邊緣定位在外部、以圍繞安設區域，該基板定位在安設區域中；以及支承件，該支承件安裝在指狀部分的內表面上并且具有預定間隙，該預定間隙如圍繞安設區域一樣。
17、進一步地，該火花隙可以水平地安裝在指狀部分的外表面上，并且火花隙設置成使得前端面向安設區域的相對方向。
18、進一步地，該末端執行器還可以包括電暈放電電極，該電暈放電電極通過電暈放電產生離子，并通過離子中和基板的靜電。
19、進一步地，該電暈放電電極可以設置為具有尖的前端的放電引腳。
20、進一步地，該放電引腳可以定位成高于該基板的圖案表面。
21、根據本公開的另一方面，可以提供一種基板傳送裝置，該基板傳送裝置包括：機械手單元，該機械手單元安裝在臂部的端部處并且具有支承基板的末端執行器；以及移動單元，該移動單元以無線功率傳輸類型驅動、以移動機械手單元，其中，該末端執行器包括：本體，該本體具有指狀部分，該指狀部分從連接到臂部的端部的基部部分延伸并在基板的邊緣定位在外部、以圍繞安設區域，基板定位在安設區域中；支承件，該支承件安裝在指狀部分的內表面上并且具有預定間隙，該預定間隙如圍繞安設區域一樣；火花隙，該火花隙安裝在指狀部分的外表面上，并且該火花隙在積聚在基板上的電荷達到閾值時誘導向本體的外部放電；以及電暈放電電極，該電暈放電電極安裝在指狀部分的頂部上、通過電暈放電產生離子并通過離子中和該基板的靜電。
22、進一步地，該電暈放電電極設置為具有尖的前端的放電引腳，該火花隙具有尖的前端、以將電荷集中在火花隙周圍并誘導放電，并且火花隙水平地安裝在指狀部分的外表面上，并且火花隙設置成使得尖的前端面向安設區域的相對方向。
23、進一步地，該放電引腳的前端定位成高于基板的圖案表面。
24、根據本公開的實施方案，電暈放電電極產生空間電荷并且中和在帶電體(electrified?body)(末端執行器、圖案化基板)上積聚的電荷(電荷中和功能)，從而以低成本簡單且容易地降低帶電物體的電位，并且減小基板之間的電位差。因此，具有能夠降低電弧放電(arcing)風險的效果。
25、根據本發明的實施方案，火花隙(電極)在因基板過度充電而達到閾值電壓時誘導向基板的安設區域的相對側放電，從而具有能夠防止對基板的部件的損壞的特定效果。
26、本發明的效果不限于上述效果，并且本領域技術人員將從說明書和附圖中清楚地理解上述未說明的效果。
1.一種基板傳送裝置，所述基板傳送裝置包括：
2.根據權利要求1所述的基板傳送裝置，其中，所述火花隙具有尖的前端、以將電荷集中在所述火花隙周圍并誘導放電。
3.根據權利要求2所述的基板傳送裝置，其中，所述火花隙具有圓形的截面、并且具有其中所述截面的尺寸朝向端部逐漸減小且所述前端定位在中心處的形狀。
4.根據權利要求2所述的基板傳送裝置，其中，所述本體包括：
5.根據權利要求4所述的基板傳送裝置，其中，所述火花隙水平地安裝在所述指狀部分的外表面上，并且所述火花隙設置成使所述前端面向所述安設區域的相對方向。
6.根據權利要求2所述的基板傳送裝置，其中，所述末端執行器還包括電暈放電電極，所述電暈放電電極通過電暈放電產生離子并通過所述離子中和基板的靜電。
7.根據權利要求6所述的基板傳送裝置，其中，所述電暈放電電極設置為具有尖的前端的放電引腳。
8.根據權利要求7所述的基板傳送裝置，其中，所述放電引腳的所述前端定位成高于所述基板的圖案表面。
9.根據權利要求1所述的基板傳送裝置，其中，所述移動單元以無線功率傳輸類型驅動。
10.一種支承基板的末端執行器，所述末端執行器包括：
11.根據權利要求10所述的末端執行器，其中，所述火花隙具有尖的前端、以將電荷集中在所述火花隙周圍并誘導放電。
12.根據權利要求11所述的末端執行器，其中，所述火花隙具有圓形的截面、并且具有其中所述截面的尺寸朝向端部逐漸減小且所述前端定位在中心處的形狀。
13.根據權利要求12所述的末端執行器，其中，所述本體包括：
14.根據權利要求13所述的末端執行器，其中，所述火花隙水平地安裝在所述指狀部分的外表面上，并且所述火花隙設置成使得所述前端面向所述安設區域的相對方向。
15.根據權利要求11所述的末端執行器，其中，所述末端執行器還包括電暈放電電極，所述電暈放電電極通過電暈放電產生離子并通過所述離子中和基板的靜電。
16.根據權利要求15所述的末端執行器，其中，所述電暈放電電極設置為具有尖的前端的放電引腳。
17.根據權利要求16所述的末端執行器，其中，所述放電引腳定位成高于所述基板的圖案表面。
18.一種基板傳送裝置，所述基板傳送裝置包括：
19.根據權利要求18所述的基板傳送裝置，其中，所述電暈放電電極設置為具有尖的前端的放電引腳，
20.根據權利要求19所述的基板傳送裝置，其中，所述放電引腳的所述前端定位成高于所述基板的圖案表面。