專利名稱：微波低波段高選擇性空腔介質(zhì)濾波器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
微波低波段高選擇性空腔介質(zhì)濾波器技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型涉及一種微波低波段高選擇性空腔介質(zhì)濾波器，適用于無線電通信領(lǐng)域射頻信號(hào)傳輸?shù)臑V波器件。
背景技術(shù)：
[0002]在現(xiàn)代各類無線通信設(shè)備中，濾波器作為一個(gè)常用的部件，在無線信息傳輸技術(shù)中發(fā)揮著越來越重要的作用。目前，應(yīng)用在各類無線通信頻段的微波濾波器普遍采用同軸線傳輸方式來實(shí)現(xiàn)。它通常由諧振腔、內(nèi)導(dǎo)體及相應(yīng)的調(diào)諧螺釘?shù)冉M成，在性能指標(biāo)要求低損耗和大功率的同時(shí)，諧振腔的體積會(huì)相應(yīng)增大，不僅會(huì)耗費(fèi)大量的原材料，還對其制造和加工工藝提出較高的要求，產(chǎn)品溫度穩(wěn)定性的實(shí)現(xiàn)也較為困難。[0003]目前，隨著第三代移動(dòng)通信事業(yè)的普及和發(fā)展，移動(dòng)通信器件也朝著小型化和集成化的方向發(fā)展。現(xiàn)有的微波低波段高選擇性空腔介質(zhì)濾波器，如申請?zhí)枮?00710135565.0的中國實(shí)用新型專利，在一個(gè)型材上根據(jù)指標(biāo)要求設(shè)計(jì)TM_模式(或TE111)的圓波導(dǎo)諧振器，圓波導(dǎo)諧振器直徑越大，諧振頻率越低，兩者成反比關(guān)系，圓波導(dǎo)諧振器直徑越小，諧振頻率越高。目前，理想尺寸的圓波導(dǎo)諧振器的諧振頻率高于民用移動(dòng)通信的分配頻段，為了降低諧振頻率，往往采取增大直徑的方式。但該方式與現(xiàn)有的諧振器小型化的需要不相符合。為了實(shí)現(xiàn)小型化的目標(biāo)，在該圓波導(dǎo)諧振器中填充介質(zhì)材料，以降低其諧振頻率。實(shí)用新型內(nèi)容[0004]本實(shí)用新型是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中為了降低諧振頻率所采取增大直徑的方式與現(xiàn)有的諧振器小型化的需要不相符合的缺陷，根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)方面，提出一種微波低波段高選擇性空腔介質(zhì)濾波器。[0005]根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的微波低波段高選擇性空腔介質(zhì)濾波器，包括:[0006]至少一個(gè)圓柱形的圓波導(dǎo)，所述圓波導(dǎo)的縱向上開設(shè)有縱向貫通的頻率調(diào)節(jié)孔，圓波導(dǎo)由在真空環(huán)境對圓柱形的圓波導(dǎo)介質(zhì)加熱，并對圓波導(dǎo)介質(zhì)進(jìn)行金屬層濺射處理后生成。[0007]其中，圓波導(dǎo)為多個(gè)，圓波導(dǎo)為TM_模式，圓波導(dǎo)緊鄰設(shè)置在同一平面內(nèi)，圓波導(dǎo)在相鄰曲面形成磁場耦合，在相鄰圓波導(dǎo)的連接處位置設(shè)有縱向貫通的腔間耦合調(diào)節(jié)孔和橫向貫通的腔間耦合窗口。[0008]其中，圓波導(dǎo)為多個(gè)，圓波導(dǎo)為TE111模式，圓波導(dǎo)緊鄰設(shè)置在同一平面內(nèi)，圓波導(dǎo)在相鄰曲面形成電場I禹合窗口。[0009]其中，圓波導(dǎo)為多個(gè)，圓波導(dǎo)為TM_模式，圓波導(dǎo)縱向疊放成一體，圓波導(dǎo)在相鄰平面形成電場稱合，在相鄰圓波導(dǎo)橫向外表面印制有腔間電場稱合窗口。[0010]其中，圓波導(dǎo)為多個(gè)，圓波導(dǎo)為TE111模式，圓波導(dǎo)縱向疊放成一體，圓波導(dǎo)在相鄰平面形成磁場稱合，在相鄰圓波導(dǎo)橫向外表面印制有腔間磁場稱合窗口。[0011]本實(shí)用新型微波低波段高選擇性空腔介質(zhì)濾波器及其制造方法，在圓波導(dǎo)諧振器中填充介質(zhì)材料的現(xiàn)有技術(shù)基礎(chǔ)上，將金屬層直接濺射在填充介質(zhì)上，使金屬層更緊密的涂覆在介質(zhì)材料上，避免了金屬層與填充介質(zhì)之間存在的空氣層，縮小了金屬層所占的空間，在保證濾波器濾波指標(biāo)的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)了濾波器的小型化目標(biāo)。本實(shí)用新型的其它特征和優(yōu)點(diǎn)將在隨后的說明書中闡述，并且，部分地從說明書中變得顯而易見，或者通過實(shí)施本實(shí)用新型而了解。本實(shí)用新型的目的和其他優(yōu)點(diǎn)可通過在所寫的說明書、權(quán)利要求書、以及附圖中所特別指出的結(jié)構(gòu)來實(shí)現(xiàn)和獲得。下面通過附圖和實(shí)施例，對本實(shí)用新型的技術(shù)方案做進(jìn)一步的詳細(xì)描述。
附圖用來提供對本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解，并且構(gòu)成說明書的一部分，與本實(shí)用新型的實(shí)施例一起用于解釋本實(shí)用新型，并不構(gòu)成對本實(shí)用新型的限制。在附圖中:圖1為本實(shí)用新型TM_模式的濾波器單體的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型TM_模式的濾波器雙聯(lián)體的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實(shí)用新型一種TM_模式的三腔濾波器無上下蓋板的封裝外殼的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本實(shí)用新型一種TM_模式的三腔濾波器有上下蓋板的封裝外殼的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本實(shí)用新型另一種TM_模式的三腔濾波器無外蓋板的封裝外殼的結(jié)構(gòu)示意圖；圖6為本實(shí)用新型另一種TM_模式的三腔濾波器有外蓋板的封裝外殼的結(jié)構(gòu)示意圖；圖7為本實(shí)用新型TM_模式的四腔濾波器無外蓋板的封裝外殼的結(jié)構(gòu)示意圖；圖8為本實(shí)用新型TM_模式的四腔濾波器有外蓋板的封裝外殼的結(jié)構(gòu)示意圖；圖9為本實(shí)用新型濾波器的表面金屬化工藝流程示意圖。結(jié)合附圖在其上標(biāo)記以下附圖標(biāo)記:1-頻率調(diào)節(jié)孔，2-腔間耦合調(diào)節(jié)孔，3-輸入輸出接頭，4-頻率調(diào)節(jié)桿，5-腔間耦合調(diào)節(jié)桿。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖，對本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
進(jìn)行詳細(xì)描述，但應(yīng)當(dāng)理解本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不受具體實(shí)施方式
的限制。如圖1-圖8所示，本實(shí)用新型公開了微波低波段高選擇性空腔介質(zhì)濾波器，包括多個(gè)圓波導(dǎo)，圓波導(dǎo)的縱向上開設(shè)有縱向貫通的頻率調(diào)節(jié)孔1，圓波導(dǎo)由在真空環(huán)境對圓柱形的圓波導(dǎo)介質(zhì)加熱，并對圓波導(dǎo)介質(zhì)進(jìn)行金屬層濺射處理后生成。本實(shí)用新型的圓波導(dǎo)包括TM_和TE111的兩種模式:在圓波導(dǎo)為TM_模式的情形下，如圖2、圖7-8所示，圓波導(dǎo)緊鄰設(shè)置在同一平面內(nèi)，圓波導(dǎo)在相鄰曲面形成磁場耦合，在相鄰圓波導(dǎo)的連接處位置設(shè)有縱向貫通的腔間耦合調(diào)節(jié)孔2和橫向貫通的腔間耦合窗口(圖中未標(biāo)示)，腔間耦合調(diào)節(jié)孔2與腔間耦合窗口相互貫通。[0030]在圓波導(dǎo)為TM_模式的情形下，如圖3-圖6所示，圓波導(dǎo)上下疊放成一體，圓波導(dǎo)在相鄰平面形成電場稱合，在相鄰圓波導(dǎo)下表面印制有腔間電場稱合窗口(圖中未標(biāo)不，與頻率調(diào)節(jié)孔I同軸設(shè)置，腔間電場耦合窗口的印制面積可以大于頻率調(diào)節(jié)孔I的橫截面積)。[0031]在圓波導(dǎo)為TE111模式的情形下，圓波導(dǎo)緊鄰設(shè)置在同一平面內(nèi)，圓波導(dǎo)在相鄰曲面形成電場f禹合。[0032]在圓波導(dǎo)為TE111模式的情形下，圓波導(dǎo)上下疊放成一體，圓波導(dǎo)在相鄰平面形成磁場稱合，在相鄰圓波導(dǎo)下表面印制有腔間磁場稱合窗口(圖中未標(biāo)不,與頻率調(diào)節(jié)孔同軸設(shè)置，腔間磁場耦合窗口的印制面積可以大于頻率調(diào)節(jié)孔的橫截面積)。[0033]如圖3-圖4的三腔濾波器，在圓波導(dǎo)為TM-模式的情形下，由三個(gè)圓波導(dǎo)以上下疊放成的方式置于封裝外殼之內(nèi)，由上下蓋板封裝成一體。其中，三個(gè)圓波導(dǎo)的上下第一、第三個(gè)圓波導(dǎo)(即鄰近上下蓋板的圓波導(dǎo))的頻率調(diào)節(jié)孔在插入頻率調(diào)節(jié)桿進(jìn)行上下調(diào)節(jié)的過程中，一方面起到頻率調(diào)節(jié)作用，另一方面起到輸入/輸出激勵(lì)的作用，第二個(gè)圓波導(dǎo)的頻率調(diào)節(jié)孔在插入頻率調(diào)節(jié)桿進(jìn)行上下調(diào)節(jié)的過程中，僅起到頻率調(diào)節(jié)作用。[0034]如圖5-圖6的三腔濾波器，在圓波導(dǎo)為TM_模式的情形下，包括三個(gè)圓波導(dǎo)，下層包括兩個(gè)緊鄰設(shè)置在同一平面的圓波導(dǎo)，下層的兩個(gè)圓波導(dǎo)中的一個(gè)與上層的一個(gè)圓波導(dǎo)以上下疊放的方式組裝，鄰近外蓋板的頻率調(diào)節(jié)孔一方面起到頻率調(diào)節(jié)作用，另一方面起到輸入/輸出激勵(lì)的作用，其它頻率調(diào)節(jié)孔僅起到頻率調(diào)節(jié)作用。[0035]如圖7-圖8的三腔濾波器，在圓波導(dǎo)為TM_模式的情形下，包括四個(gè)圓波導(dǎo)，下層包括兩個(gè)緊鄰設(shè)置在同一平面的圓波導(dǎo)，上層包括兩個(gè)緊鄰設(shè)置在同一平面的圓波導(dǎo)，上下兩層的圓波導(dǎo)以上下疊放的方式組裝，鄰近外蓋板的頻率調(diào)節(jié)孔一方面起到頻率調(diào)節(jié)作用，另一方面起到輸入/輸出激勵(lì)的作用，其它頻率調(diào)節(jié)孔僅起到頻率調(diào)節(jié)作用。[0036]需要說明的是，上述腔間電場耦合窗口和腔間磁場耦合窗口的腔間耦合方式是不占多余體積的，可有效縮小濾波器的體積，利于濾波器的小型化；通過靈活的組合還可以方便實(shí)現(xiàn)隔腔耦合，有利于濾波器帶外抑制指標(biāo)的提高。[0037]根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例，提供了一種微波低波段高選擇性空腔介質(zhì)濾波器的制造方法，如圖1-圖4所示，本方法以圓波導(dǎo)TM_模式為例進(jìn)行說明，包括:[0038]步驟1，根據(jù)指標(biāo)要求設(shè)計(jì)圓柱形的圓波導(dǎo)介質(zhì)尺寸，該圓波導(dǎo)介質(zhì)的縱向方向上開設(shè)有縱向方向上貫通的頻率調(diào)節(jié)孔1，該頻率調(diào)節(jié)孔可以位于圓波導(dǎo)介質(zhì)的上下圓平面的任意位置，但處于圓平面的中央位置(如圖1所示)，頻率調(diào)節(jié)效果最佳，可以以較少調(diào)節(jié)圈數(shù)達(dá)到同樣的調(diào)節(jié)效果；[0039]上述頻率調(diào)節(jié)孔I供設(shè)置于上下蓋板的接頭探針(圖中未標(biāo)示)穿設(shè)，起到輸入/輸出激勵(lì)的作用。[0040]步驟2，對圓波導(dǎo)介質(zhì)進(jìn)行清洗處理后，在真空的環(huán)境對上述圓波導(dǎo)介質(zhì)加熱，并在其表面進(jìn)行濺射處理，先濺射一層鈦，厚度為幾千埃，以提高圓波導(dǎo)介質(zhì)與金屬層的附著力，再濺射一層金屬層，厚度也為幾千埃，再對其進(jìn)行電鍍加厚金屬層處理，使其滿足趨膚效應(yīng)所需的厚度，使電磁場正常傳輸；在濺射的過程中，分別在腔間電場耦合窗口和頻率調(diào)節(jié)孔處插入掩膜模具，使金屬化完成的同時(shí)，腔間電場耦合窗口和調(diào)節(jié)孔同時(shí)生成。[0041]具體地，如圖9所示，在本步驟即本實(shí)用新型濾波器的表面金屬化工藝流程中，種子層是用99.9999%的鈦及99.9999%的無氧銅通過磁控濺射工藝完成，其中，鈦層的厚度為3000埃，銅層的厚度為4000埃，種子層通過光刻工藝完成所需圖形的制作，再通過電鍍工藝把圖形加厚到大約10微米。步驟3，根據(jù)指標(biāo)要求，組裝成空腔介質(zhì)濾波器，根據(jù)該濾波器的結(jié)構(gòu)制成相應(yīng)的封裝外殼，將空腔介質(zhì)濾波器裝入封裝外殼，在封裝外殼的上下蓋板對應(yīng)位置引出輸入輸出接頭3，并根據(jù)頻率調(diào)節(jié)桿和腔間耦合調(diào)節(jié)桿進(jìn)行指標(biāo)調(diào)試。根據(jù)兩種耦合方式(即平面相鄰的磁場耦合、上下疊放的電場耦合)將多個(gè)圓波導(dǎo)組成的空腔介質(zhì)濾波器的腔間耦合形成多種組合方式:1、圓波導(dǎo)相鄰曲面的磁場I禹合:圓波導(dǎo)緊鄰設(shè)置在同一平面內(nèi)，圓波導(dǎo)在相鄰曲面形成磁場耦合，在每相鄰的圓波導(dǎo)連接臂的位置設(shè)有上下貫通的腔間耦合調(diào)節(jié)孔2和左右貫通的腔間耦合窗口，可以調(diào)節(jié)磁場耦合，如圖2所示；2、圓波導(dǎo)的上下疊放的電場耦合:圓波導(dǎo)縱向疊放成一體，圓波導(dǎo)在相鄰平面形成電場耦合，在金屬化的過程中，在相鄰圓波導(dǎo)外表面的下平面的中部印制有腔間電場耦合窗口(圖中未標(biāo)不)，該腔間電場稱合窗口一經(jīng)印制，其稱合量將不能改變；3、上述方式I與2的結(jié)合，可以設(shè)置多層，每層數(shù)量也可不同；例如，在底層設(shè)置圓波導(dǎo)相鄰曲面的磁場耦合，在上層與底層之間設(shè)置圓波導(dǎo)的上下疊放的電場耦合，如圖5-圖6的三腔濾波器和圖7-圖8的四腔濾波器所示。在上下疊放的電場耦合中，鄰近上下蓋板的圓波導(dǎo)的頻率調(diào)節(jié)孔一方面起到頻率調(diào)節(jié)作用，另一方面起到輸入/輸出激勵(lì)的作用，其它頻率調(diào)節(jié)孔僅起到頻率調(diào)節(jié)作用；鄰近上下蓋板的圓波導(dǎo)的頻率調(diào)節(jié)孔與腔間電場耦合窗口同軸設(shè)置，腔間電場耦合窗口開設(shè)在鄰近上下蓋板的圓波導(dǎo)的下表面；腔間電場耦合窗口也可以起到調(diào)節(jié)頻率的作用，耦合孔印制的面積越大，諧振器的諧振頻率將相應(yīng)升高；圓波導(dǎo)介質(zhì)材料包括:低介電常數(shù)(ε在10-30)、中介電常數(shù)(ε在30-100)和高介電常數(shù)(ε在100以上)。在本步驟中，頻率可以調(diào)節(jié)，圓波導(dǎo)的上下疊放的電場耦合是固定的。在封裝外殼設(shè)置穿設(shè)在頻率調(diào)節(jié)孔I上的頻率調(diào)節(jié)桿4和穿設(shè)在腔間耦合調(diào)節(jié)孔2內(nèi)的腔間耦合調(diào)節(jié)桿5。與ΤΜ_模式的圓波導(dǎo)相比，TE111模式的圓波導(dǎo)的腔間耦合的特點(diǎn)包括:(I)圓波導(dǎo)相鄰曲面的電場I禹合:在電場I禹合中，圓波導(dǎo)緊鄰設(shè)置在同一平面內(nèi)，圓波導(dǎo)在相鄰曲面形成電場耦合，可以通過設(shè)置每相鄰的圓波導(dǎo)連接臂的長短、寬窄來調(diào)節(jié)電場耦合的大小，連接臂越短、連接臂越寬，腔間電場耦合量越大(即耦合強(qiáng)度越強(qiáng))；(2)圓波導(dǎo)的上下疊放的磁場耦合:圓波導(dǎo)縱向疊放成一體，圓波導(dǎo)在相鄰平面形成磁場耦合，在金屬化的過程中，在相鄰圓波導(dǎo)外表面的上下平面的中部印制有腔間磁場率禹合窗口(位置同TMoltl模式的腔間電場I禹合窗口)，該腔間磁場f禹合窗口一經(jīng)印制，其f禹合量將不能改變；(3)上述方式(I)與(2)的結(jié)合，可以設(shè)置多層，每層數(shù)量也可不同；與TM_模式的圓波導(dǎo)不同，TE111模式圓波導(dǎo)的頻率調(diào)節(jié)孔設(shè)置在圓柱形圓波導(dǎo)的外曲面位置并橫向貫通，也可根據(jù)需要并不貫通；在橫向排列鄰近左右蓋板的兩外端的頻率調(diào)節(jié)孔與TM_模式的鄰近上下蓋板的圓波導(dǎo)的頻率調(diào)節(jié)孔一樣，起到輸入/輸出激勵(lì)的作用，在左右蓋板的對應(yīng)位置引出輸入輸出接頭。[0058]需要說明的是，根據(jù)TE111模式圓波導(dǎo)的模式特性，可以進(jìn)行模式復(fù)用，即一個(gè)TE111模式諧振器做兩個(gè)諧振器用，也即在上述原有TE111模式諧振器基礎(chǔ)上在其對應(yīng)正交位置上設(shè)置同樣的裝置進(jìn)行激勵(lì)得到第二個(gè)諧振器，并在二者正交位置旋轉(zhuǎn)45°夾角處設(shè)置電場耦合孔，對兩個(gè)諧振器進(jìn)行傳輸過程中的耦合處理，即可實(shí)現(xiàn)模式復(fù)用的目的。[0059]根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例，提供了另一種微波低波段高選擇性空腔介質(zhì)濾波器的制造方法，本方法以TE皿模式矩形波導(dǎo)為例進(jìn)行說明，包括:[0060]步驟I，根據(jù)指標(biāo)要求設(shè)計(jì)矩形波導(dǎo)介質(zhì)尺寸，該矩形波導(dǎo)介質(zhì)由模具制造并燒結(jié)而成，即在縱向上排列有多個(gè)矩形波導(dǎo)，在該矩形波導(dǎo)TEltll模式的電場方向垂直的表面開設(shè)多個(gè)貫通(也可以根據(jù)需要不貫通)的調(diào)節(jié)孔；[0061]其中，每個(gè)調(diào)節(jié)孔對應(yīng)一個(gè)矩形波導(dǎo)，首尾矩形波導(dǎo)的調(diào)節(jié)孔供接頭探針穿設(shè)；貫通的首尾矩形波導(dǎo)一方面起到頻率調(diào)節(jié)作用，另一方面起到輸入/輸出激勵(lì)的作用；[0062]多個(gè)矩形波導(dǎo)組成的濾波器的相鄰矩形波導(dǎo)之間開設(shè)有腔間耦合調(diào)節(jié)孔，該腔間耦合調(diào)節(jié)孔上穿設(shè)有腔間耦合調(diào)節(jié)桿，用于調(diào)節(jié)相鄰波導(dǎo)之間的電磁場耦合；[0063]步驟2，對圓波導(dǎo)介質(zhì)進(jìn)行清洗處理后，在真空的環(huán)境對上述矩形波導(dǎo)介質(zhì)加熱，并在其表面進(jìn)行濺射處理，先濺射一層鈦，厚度為幾千埃，以提高介質(zhì)與金屬層的附著力，再濺射一層金屬層，厚度也為幾千埃，再對其進(jìn)行電鍍加厚金屬層處理，使其滿足趨膚效應(yīng)所需的厚度，使電磁場正常傳輸；[0064]具體地，如圖9所示，在本步驟即本實(shí)用新型濾波器的表面金屬化工藝流程中，種子層是用99.9999%的鈦及99.9999%的無氧銅通過磁控濺射工藝完成，其中，鈦層的厚度為3000埃，銅層的厚度為4000埃，種子層通過光刻工藝完成所需圖形的制作，再通過電鍍工藝把圖形加厚到大約10微米。[0065]步驟3，組裝成空腔介質(zhì)濾波器，根據(jù)該濾波器的結(jié)構(gòu)制成相應(yīng)的封裝外殼，將空腔介質(zhì)濾波器裝入封裝外殼，首尾矩形波導(dǎo)的相應(yīng)位置引出輸入輸出接頭，并根據(jù)頻率調(diào)節(jié)桿和腔間耦合調(diào)節(jié)桿進(jìn)行指標(biāo)調(diào)試。[0066]本實(shí)用新型公開了微波低波段高選擇性空腔介質(zhì)濾波器及其制造方法，在圓波導(dǎo)諧振器中填充介質(zhì)材料的現(xiàn)有技術(shù)基礎(chǔ)上，將金屬層直接濺射在填充介質(zhì)上，使金屬層更緊密的涂覆在介質(zhì)材料上，避免了金屬層與填充介質(zhì)之間存在的空氣層，縮小了金屬層所占的空間，在保證濾波器濾波指標(biāo)的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)了濾波器的小型化目標(biāo)。[0067]本實(shí)用新型的微波低波段高選擇性空腔介質(zhì)濾波器及其制造方法，確保了介質(zhì)材料使用時(shí)其有效介電常數(shù)的理論值和一致性，圓波導(dǎo)和矩形波導(dǎo)可以單體、雙聯(lián)體、多聯(lián)體等多種結(jié)構(gòu)組合，裝配靈活，適應(yīng)性強(qiáng)。[0068]本實(shí)用新型能有多種不同形式的具體實(shí)施方式
，上面以圖1-圖9為例結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的技術(shù)方案作舉例說明，這并不意味著本實(shí)用新型所應(yīng)用的具體實(shí)例只能局限在特定的流程或?qū)嵤├Y(jié)構(gòu)中，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)了解，上文所提供的具體實(shí)施方案只是多種優(yōu)選用法中的一些示例，任何體現(xiàn)本實(shí)用新型權(quán)利要求的實(shí)施方式均應(yīng)在本實(shí)用新型技術(shù)方案所要求保護(hù)的范圍之內(nèi)。[0069]最后應(yīng)說明的是:以上所述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本實(shí)用新型，盡管參照前述實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說明，對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，其依然可以對前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換。凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種微波低波段高選擇性空腔介質(zhì)濾波器，其特征在于，包括:至少一個(gè)圓柱形的圓波導(dǎo)，所述圓波導(dǎo)的縱向上開設(shè)有縱向貫通的頻率調(diào)節(jié)孔，所述圓波導(dǎo)由在真空環(huán)境對圓柱形的圓波導(dǎo)介質(zhì)加熱，并對所述圓波導(dǎo)介質(zhì)進(jìn)行金屬層濺射處理后生成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾波器，其特征在于，所述圓波導(dǎo)為多個(gè)，所述圓波導(dǎo)為TMoltl模式，所述圓波導(dǎo)緊鄰設(shè)置在同一平面內(nèi)，所述圓波導(dǎo)在相鄰曲面形成磁場耦合，在相鄰圓波導(dǎo)的連接處位置設(shè)有縱向貫通的腔間耦合調(diào)節(jié)孔和橫向貫通的腔間耦合窗口。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾波器，其特征在于，所述圓波導(dǎo)為多個(gè)，所述圓波導(dǎo)為TE111模式，所述圓波導(dǎo)緊鄰設(shè)置在同一平面內(nèi)，所述圓波導(dǎo)在相鄰曲面形成電場耦合窗口。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾波器，其特征在于，所述圓波導(dǎo)為多個(gè)，所述圓波導(dǎo)為TM_模式，所述圓波導(dǎo)縱向疊放成一體，所述圓波導(dǎo)在相鄰平面形成電場耦合，在相鄰圓波導(dǎo)橫向外表面印制有腔間電場I禹合窗口。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾波器，其特征在于，所述圓波導(dǎo)為多個(gè)，所述圓波導(dǎo)為TE111模式，所述圓波導(dǎo)縱向疊放成一體，所述圓波導(dǎo)在相鄰平面形成磁場耦合，在相鄰圓波導(dǎo)橫向外表面印制有腔間磁場I禹合窗口。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種微波低波段高選擇性空腔介質(zhì)濾波器，包括至少一個(gè)圓柱形的圓波導(dǎo)，圓波導(dǎo)的縱向上開設(shè)有縱向貫通的頻率調(diào)節(jié)孔，圓波導(dǎo)由在真空環(huán)境對圓柱形的圓波導(dǎo)介質(zhì)加熱，并對圓波導(dǎo)介質(zhì)進(jìn)行金屬層濺射處理后生成。本實(shí)用新型的微波低波段高選擇性空腔介質(zhì)濾波器，在圓波導(dǎo)諧振器中填充介質(zhì)材料的現(xiàn)有技術(shù)基礎(chǔ)上，將金屬層直接濺射在填充介質(zhì)上，使金屬層更緊密的涂覆在介質(zhì)材料上，避免了金屬層與填充介質(zhì)之間存在的空氣層，縮小了金屬層所占的空間，在保證濾波器濾波指標(biāo)的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)了濾波器的小型化目標(biāo)。
文檔編號(hào)H01P11/00GK202977669SQ201220604798
公開日2013年6月5日 申請日期2012年11月15日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月15日
發(fā)明者莊昆杰, 范海鵑, 鄭德典, 呂斌 申請人:莊昆杰, 福建省光微電子科技有限公司