1.一種真空封裝結構體,其特征在于,包括:
2.如權利要求1所述的真空封裝結構體,其特征在于,所述第一開孔(6)的數量至少為一個,與每個所述第一開孔(6)連通的所述第二開孔(7)在所述基板(1)上的投影與該所述第一開孔(6)在所述基板(1)上的投影相互錯開。
3.如權利要求2所述的真空封裝結構體,其特征在于,與每個所述第一開孔(6)連通的所述第二開孔(7)的數量至少為兩個,所述第二開孔(7)在所述基板(1)上的投影圍繞在所述第一開孔(6)在所述基板(1)上的投影的周圍。
4.如權利要求1所述的真空封裝結構體,其特征在于,還包括:
5.如權利要求4所述的真空封裝結構體,其特征在于,所述支撐結構(11)包括支撐柱(111)和支撐臺面(112),所述支撐柱(111)位于所述基板(1)的表面,所述支撐臺面(112)位于所述支撐柱(111)遠離所述基板(1)的表面;
6.如權利要求4所述的真空封裝結構體,其特征在于,所述第一開孔(6)在所述基板(1)上的投影位于任意相鄰兩個所述支撐結構(11)在所述基板(1)上的投影之間。
7.如權利要求1所述的真空封裝結構體,其特征在于,還包括:
8.如權利要求1所述的真空封裝結構體,其特征在于,所述第一封裝帽層(2)和所述第二封裝帽層(3)的材料相同。
9.如權利要求1至8任一項所述的真空封裝結構體,其特征在于,所述第二封裝帽層(3)的數量與所述第一開孔(6)的數量相等,一個所述第一開孔(6)在所述基板(1)上的投影位于一個所述第二封裝帽層(3)在所述基板(1)上的投影的范圍內。
10.一種真空封裝結構體的封裝方法,其特征在于,包括:
11.如權利要求10所述的真空封裝結構體的封裝方法,其特征在于,在基板(1)的表面形成第一犧牲層(12)之后,還包括:
12.如權利要求10所述的真空封裝結構體的封裝方法,其特征在于,在基板(1)的表面形成第一犧牲層(12)之前,還包括:
13.如權利要求10至12任一項所述的真空封裝結構體的封裝方法,其特征在于,在所述第一封裝帽層(2)背離所述第一腔體(8)的表面制作第三犧牲層(14)之后,還包括: