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      一種真空封裝結構體及其封裝方法與流程

      文檔序號:42312814發布日期:2025-07-01 19:30閱讀:來源:國知局

      技術特征:

      1.一種真空封裝結構體,其特征在于,包括:

      2.如權利要求1所述的真空封裝結構體,其特征在于,所述第一開孔(6)的數量至少為一個,與每個所述第一開孔(6)連通的所述第二開孔(7)在所述基板(1)上的投影與該所述第一開孔(6)在所述基板(1)上的投影相互錯開。

      3.如權利要求2所述的真空封裝結構體,其特征在于,與每個所述第一開孔(6)連通的所述第二開孔(7)的數量至少為兩個,所述第二開孔(7)在所述基板(1)上的投影圍繞在所述第一開孔(6)在所述基板(1)上的投影的周圍。

      4.如權利要求1所述的真空封裝結構體,其特征在于,還包括:

      5.如權利要求4所述的真空封裝結構體,其特征在于,所述支撐結構(11)包括支撐柱(111)和支撐臺面(112),所述支撐柱(111)位于所述基板(1)的表面,所述支撐臺面(112)位于所述支撐柱(111)遠離所述基板(1)的表面;

      6.如權利要求4所述的真空封裝結構體,其特征在于,所述第一開孔(6)在所述基板(1)上的投影位于任意相鄰兩個所述支撐結構(11)在所述基板(1)上的投影之間。

      7.如權利要求1所述的真空封裝結構體,其特征在于,還包括:

      8.如權利要求1所述的真空封裝結構體,其特征在于,所述第一封裝帽層(2)和所述第二封裝帽層(3)的材料相同。

      9.如權利要求1至8任一項所述的真空封裝結構體,其特征在于,所述第二封裝帽層(3)的數量與所述第一開孔(6)的數量相等,一個所述第一開孔(6)在所述基板(1)上的投影位于一個所述第二封裝帽層(3)在所述基板(1)上的投影的范圍內。

      10.一種真空封裝結構體的封裝方法,其特征在于,包括:

      11.如權利要求10所述的真空封裝結構體的封裝方法,其特征在于,在基板(1)的表面形成第一犧牲層(12)之后,還包括:

      12.如權利要求10所述的真空封裝結構體的封裝方法,其特征在于,在基板(1)的表面形成第一犧牲層(12)之前,還包括:

      13.如權利要求10至12任一項所述的真空封裝結構體的封裝方法,其特征在于,在所述第一封裝帽層(2)背離所述第一腔體(8)的表面制作第三犧牲層(14)之后,還包括:


      技術總結
      本申請涉及真空封裝領域,公開了一種真空封裝結構體及其封裝方法,包括:基板、第一封裝帽層、第二封裝帽層、MEMS結構和密封層,第一封裝帽層設有第一開孔,第二封裝帽層設有第二開孔;第二開孔的尺寸小于第一開孔的尺寸;第一封裝帽層與基板連接,并與基板形成第一腔體;MEMS結構位于第一腔體中;第二封裝帽層與第一封裝帽層背離第一腔體的表面連接,并與第一封裝帽層形成第二腔體;第二腔體和第一腔體通過第一開孔連通;密封層位于第二封裝帽層的表面,并對第二開孔密封。本申請中的真空封裝結構體不僅可以提升犧牲層的釋放效率和改善釋放效果,而且還可以提升密封良率,改善漏氣的問題。

      技術研發人員:趙陽,劉繼偉,孟繁淞,胡漢林
      受保護的技術使用者:睿創微電子(煙臺)有限公司
      技術研發日:
      技術公布日:2025/6/30
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