一種負壓環境下的氣體循環凈化裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型屬于一種氣體循環凈化裝置，具體涉及一種負壓環境下的氣體循環凈化裝置。
【背景技術】
[0002]惰性氣體作為一種保護氣體，經常會被用到工業生產中。但是隨著生產過程的進行，保護氣體的純度會逐漸降低，影響生產的進程和產品的質量，現有技術無法避免氣體純度的降低。
【實用新型內容】
[0003]本實用新型是為了克服現有技術中存在的缺點而提出的，其目的是提供一種負壓環境下的氣體循環凈化裝置。
[0004]本實用新型的技術方案是:
[0005]一種負壓環境下的氣體循環凈化裝置，包括通過循環管路依次連通的蠕動泵、鈦泵和負壓工作系統，
[0006]所述蠕動泵包括支撐架、電機、聯軸器、軸支撐架、絲杠、滑塊、活動板、波紋管、限位開關和滑動軸；支撐架是由兩塊側板和一塊底板組成的“U”型結構；支撐架靠近電機一側的側板形成缺口，電機的驅動桿與聯軸器連接；兩個軸支撐架分別安裝于支撐架的底板上，且靠近側板內壁設置；絲杠兩端分別安裝于兩個軸支撐架上，其中一端與聯軸器連接；滑塊安裝于絲杠上；活動板是由豎板與固定于滑塊上的橫板組成的“丄”型結構，活動板的豎板與支撐架的側板平行，且豎板邊角處形成與側板通孔相對應的滑動軸孔；波紋管兩端分別與兩側板固定，且中間被豎板分隔成左波紋管和右波紋管兩部分；兩側板和豎板對應左波紋管和右波紋管端面中心的位置形成透氣孔，左波紋管和右波紋管內部對應透氣孔的位置安裝有擋片；兩個限位開關分別安裝于底板上，且靠近軸支撐架設置；滑動軸分別穿過兩側板和豎板，安裝于支撐架上；
[0007]所述鈦泵包括圓筒形鈦泵外殼、刀口密封電極法蘭、金屬密封墊圈、內膽、鎧裝加熱絲、電極針和海綿鈦；鈦泵外殼上端形成刀口密封法蘭，鈦泵外殼的筒體兩側分別設置進氣口和出氣口；電極法蘭安裝于鈦泵外殼上端，且鈦泵外殼和電極法蘭安裝有金屬密封墊圈；內膽置于鈦泵外殼空腔中，且通過多個連接板與電極法蘭的下端面固定連接，內膽呈圓筒狀，其筒壁及筒底形成均布的圓孔，內膽內部裝有海綿鈦；鎧裝加熱絲置于內膽內；多個電極針焊接在電極法蘭上，且一端深入內膽內部，其中一對電極針深入內膽的一端與鎧裝加熱絲連接。
[0008]所述鈦泵的進氣口與蠕動泵出氣口連通，出氣口與負壓工作系統進氣口連通。
[0009]所述擋片呈圓形，且直徑大于透氣孔的直徑。
[0010]所述刀口密封法蘭的尺寸與刀口密封電極法蘭的尺寸相匹配。
[0011]所述進氣口的位置低于出氣口。
[0012]所述鈦泵外殼的內壁形成有鈦膜。
[0013]本實用新型的有益效果是:
[0014]本實用新型是針對在負壓環境下使用保護氣體進行的長時間工作，可以在不破壞系統負壓環境的情況下，對系統內部的惰性氣體進行凈化提純，既提高了工作效率，又降低了工作成本。
【附圖說明】
[0015]圖1是本實用新型一種負壓環境下的氣體循環凈化裝置的結構示意圖；
[0016]圖2是本實用新型中蠕動泵的結構示意圖；
[0017]圖3是本實用新型中鈦泵的結構示意圖；
[0018]圖4是圖3中A部分的放大圖；
[0019]圖5是圖3中B部分的放大圖。
[0020]其中:
[0021]I蠕動泵2鈦泵
[0022]3負壓工作系統4循環管道
[0023]5支撐架 6電機
[0024]7聯軸器8軸支撐架
[0025]9絲杠10滑塊
[0026]11活動板12波紋管
[0027]13擋片14限位開關
[0028]15滑動軸16鈦泵外殼
[0029]17刀口密封電極法蘭18金屬密封墊圈
[0030]19內膽20鎧裝加熱絲
[0031]21電極針22海綿鈦
[0032]23驅動桿24側板
[0033]25底板26豎板
[0034]27左波紋管28右波紋管
[0035]29透氣孔30刀口密封法蘭
[0036]31連接板32進氣口
[0037]33 出氣口34橫板。
【具體實施方式】
[0038]下面結合說明書附圖及實施例對本實用新型一種負壓環境下的氣體循環凈化裝置進行詳細說明:
[0039]如圖1所示，一種負壓環境下的氣體循環凈化裝置，包括通過循環管路4依次連通的蠕動泵1、鈦泵2和負壓工作系統3，負壓工作系統3包括真空腔體、真空泵及真空計，負壓工作系統3內部氣體運動方向如圖1中箭頭所示；鈦泵2進出氣口由圖3中箭頭所示；循環管道4盡可能縮短長度并減少拐角。
[0040]如圖2、4、5所述，蠕動泵I包括支撐架5、電機6、聯軸器7、軸支撐架8、絲杠9、滑塊10、活動板11、波紋管12、限位開關14和滑動軸15 ；
[0041]支撐架5是由兩塊兩塊側板24和一塊底板25組成的“U”型結構，支撐架5靠近電機6 —側的側板24形成缺口，；
[0042]電機6的驅動桿23與聯軸器7連接；
[0043]兩個軸支撐架8分別安裝于支撐架5的底板25上，且靠近側板24內壁設置；
[0044]絲杠9兩端分別安裝于兩個軸支撐架8上，其中一端與聯軸器7連接；
[0045]滑塊10安裝于絲杠9上；
[0046]活動板11是由豎板26與固定于滑塊20上的橫板34組成的“丄”型結構，活動板11的豎板26與支撐架5的側板24平行，且豎板26邊角處形成與側板24通孔相對應的滑動軸孔；
[0047]波紋管12兩端分別與兩側板24固定，且中間被豎板26分隔成左波紋管27和右波紋管28兩部分；兩側板24和豎板26對應左波紋管27和右波紋管28端面中心的位置形成透氣孔29，左波紋管27和右波紋管28內部對應透氣孔29的位置安裝有擋片13 ；
[0048]所述擋片13呈圓形，且直徑大于透氣孔29的直徑。
[0049]兩個限位開關14分別安裝于底板25上，且靠近軸支撐架8設置；
[0050]滑動軸15分別穿過兩側板24和豎板26，安裝于支撐架5上；
[0051]支撐架5、活動板11、擋片13、滑動軸15的材料均為304不銹鋼，波紋管12的材料為350不銹鋼。
[0052]蠕動泵循環工作過程如下:
[0053]電機6、軸支撐架10、波紋管12和限位開關14均固定在支撐架5上，電機的轉動由聯軸器7傳遞給架在軸支撐架8上的絲杠9，滑塊10可隨著絲杠的正反轉做往復移動，固定在滑塊10上端的活動板11隨著滑塊10做往復運動使左波紋管27和右波紋管28交替做壓縮、拉伸的動作，左波紋管27壓縮時其內部的擋片13處于閉合狀態(如圖4所示)；同時右波紋管28做拉伸動作，且其內部擋片13處于開合狀態(如圖5所示)，如此往復，兩段波紋管內部氣體便可向一個方向運動，形成循環?；顒影?1下端連接滑塊10，豎板26由滑動軸15支撐，保證波紋管12只沿軸向