1.一種三維搖擺的半導體零部件化學鎳裝置，包括外槽(1)、內槽(10)、支架(2)、驅動機構、升降機構、橫移機構、縱移機構、搖擺架(9)、工件懸吊架(20)，
2.根據權利要求1所述的一種三維搖擺的半導體零部件化學鎳裝置，其特征在于：所述支架(2)包括左側支撐架、右側支撐架、連接桿，左側支撐架、右側支撐架分別支撐驅動部分和從動部分的的橫移機構、縱移機構、升降機構，連接桿有四根以上，連接桿連接左側支撐架、右側支撐架。
3.根據權利要求1或2所述的一種三維搖擺的半導體零部件化學鎳裝置，其特征在于：所述驅動電機(3)與驅動偏心輪之間安裝有減速箱，驅動電機(3)安裝在支架(2)上。
4.根據權利要求1所述的一種三維搖擺的半導體零部件化學鎳裝置，其特征在于：每組升降機構包括兩個吊帶夾板組件(11)、升降桿(12)、升降導向組件(13)，對稱設置，兩個升降桿(12)頂部連接豎向驅動架(21)。
5.根據權利要求1所述的一種三維搖擺的半導體零部件化學鎳裝置，其特征在于：所述搖擺架(9)為矩形框體，圍繞在內槽(10)外側。
6.根據權利要求1所述的一種三維搖擺的半導體零部件化學鎳裝置，其特征在于：所述升降桿(12)升降截面為菱形，導向組件包括兩塊固定板，其中一塊固定板安裝在支架(2)上，兩塊固定板之間插接有兩個以上導向輪，所述導向輪中部設置有v型槽，所述升降桿(12)嵌入所述v型槽。
7.根據權利要求1所述的一種三維搖擺的半導體零部件化學鎳裝置，其特征在于：所述聯動撥桿(7)側面設置有導軌，導軌安裝在豎向柱上，聯動撥桿(7)側面通過滑塊與導軌配合。
8.根據權利要求1所述的一種三維搖擺的半導體零部件化學鎳裝置，其特征在于：所述升降桿(12)上升時，聯動撥桿(7)下降；升降桿(12)下降時，聯動撥桿(7)上升；聯動撥桿(7)的凸輪隨動器對橫向凸輪槽板(8)施加反向力，平衡搖擺架(9)的升降幅度，提高穩定性。
9.根據權利要求1所述的一種三維搖擺的半導體零部件化學鎳裝置，其特征在于：所述豎向驅動架(21)通過鏤空板連接縱向凸輪槽板(19)，所述縱向凸輪槽板(19)、橫向凸輪槽板(8)都設置有鏤空孔進行減重。
10.根據權利要求1所述的一種三維搖擺的半導體零部件化學鎳裝置，其特征在于：所述v座固定板(18)下部安裝有兩組凸輪隨動器，縱向凸輪槽板(19)上設置有兩個斜向條形槽與所述凸輪隨動器配合；所述v型座(22)有四個，兩兩對稱設置有工件懸吊架(20)兩側的v座固定板(18)上。