技術編號：42225751
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本申請屬于微納米制造，尤其涉及一種微納結構的制備方法及微納結構。背景技術、隨著微納制造技術的不斷進步，電子器件和傳感器的尺寸越來越小，對器件結構和功能材料的精細加工要求也隨之提高。金屬圖案制備作為微電子制造過程中的關鍵步驟之一，廣泛應用于集成電路、光電器件、傳感器和柔性電子等領域。、在傳統(tǒng)的光刻工藝中，通常采用的是濕法刻蝕和顯影的方法，雖然能夠實現(xiàn)較高的分辨率，但面臨著污染材料、廢液處理及高成本等問題。同時濕法過程中不同有機溶劑的使用限制了其在某些領域的應用，比如在柔性電子領域，某些有機材料...
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