1.不依賴于流體熱特性來確定流體(1)的流量的方法,包括:
2.根據權利要求1所述的方法,包括:
3.根據權利要求2所述的方法,其中,使用所述熱流量傳感器測量的所述熱特性是熱容(cp)或密度()或體積熱容()。
4.根據前述權利要求中任一項所述的方法,其中,在基本上靜止的所述流體(6)中測量的所述熱特性是熱導率(κ)。
5.根據前述權利要求中任一項所述的方法,其中,壓力傳感器(7)額外地測量壓力和/或壓差,以從所測得的所述流量和所測得的所述壓力和/或所述壓差推導出粘度。
6.根據前述權利要求中任一項所述的方法,其中,所述熱特性傳感器(4)或所述熱流量傳感器包括加熱絲(8)或探針或繞組。
7.根據權利要求4和6所述的方法,其中,熱導率(κ)通過以下方式測量:
8.根據權利要求3和6所述的方法,其中,熱容(cp)通過以下測量:
9.一種用于確定待確定流動的流體(1)的熱導率(κ)和熱容(cp)的方法,包括:
10.根據前述權利要求中任一項所述的方法,其中,將熱流量傳感器(2)放置成與流體流(3)熱接觸包括:通過流動通道(10)的外壁進行熱接觸。
11.一種用于與熱流量傳感器(2)配合使用的熱特性傳感器(4),其中,在使用期間,待確定流量的流體(1)流過所述熱流量傳感器,包括:
12.根據權利要求11所述的熱特性傳感器(4),其中,所述測量腔(5)為凹槽,并且具有u形或v形橫截面,其中,所述加熱絲(8)懸置于具有u形或v形橫截面的所述測量腔中。
13.根據權利要求12所述的熱特性傳感器(4),其中,具有v形橫截面的所述測量腔(5)和/或所述加熱絲(8)的長度為1-3mm,例如1.5-2.5?mm,和/或具有v形橫截面的所述測量腔(5)的寬度(wv凹槽)為20-60?μm。
14.一種用于測量流體流(3)的熱流量傳感器(2),包括:
15.根據權利要求14所述的熱流量傳感器(2),其中,所述熱流量傳感器可釋放地插入到流動通道(10)中,在使用期間流體流(3)存在于所述流動通道(10)中,或者,當引用權利要求10時,固定于流動通道(10)的外壁。
16.一種熱流量計或控制器,包括權利要求11至13所述的熱特性傳感器(4)和/或權利要求14至15所述的熱流量傳感器(2)。
17.根據權利要求16所述的熱流量計或控制器,其中,所述熱特性傳感器(4)或所述熱流量傳感器(2)中的至少一個是微機電設備。
18.根據權利要求16或17所述的熱流量計或控制器,還包括粘度傳感器、(外部)濕度傳感器、co2傳感器、(外部)溫度傳感器、介電或介電常數傳感器、流體成分傳感器或多參數傳感器。
19.一種根據權利要求16至18中任一項所述的熱流量計或控制器在醫療設備中的用途。
20.一種根據權利要求19所述的熱流量計或控制器在呼吸設備中的用途。
21.一種用于制造根據權利要求14至15中任一項所述的熱流量傳感器(2)的方法,包括以下步驟:
22.根據權利要求21所述的方法,其中:
23.根據權利要求21或22所述的方法,其中,所述金屬層包括cr/pt層。
24.根據權利要求21至23中任一項所述的方法,其中,所述支撐層是sirn支撐層(22)。