本公開(kāi)涉及多傳送級(jí)(transportlevel)測(cè)試器系統(tǒng)。更特別地，本公開(kāi)的示例實(shí)施例涉及一種多傳送級(jí)測(cè)試器系統(tǒng)，該多傳送級(jí)測(cè)試器系統(tǒng)被配置為測(cè)試諸如例如基于半導(dǎo)體的功率模塊的被測(cè)單元(uut)。
背景技術(shù)：
1、測(cè)試器系統(tǒng)包括用于對(duì)uut執(zhí)行各種測(cè)試的組件。例如，對(duì)基于半導(dǎo)體的功率模塊執(zhí)行測(cè)試，以確認(rèn)該功率模塊在制造和生產(chǎn)過(guò)程之后正常地運(yùn)轉(zhuǎn)。
2、測(cè)試器系統(tǒng)中包括的組件可以包括多個(gè)測(cè)試站和在不同條件下執(zhí)行測(cè)試的其他組件，以便確定各個(gè)uut在測(cè)試條件下的性能是可接受的還是廢棄的(reject)。例如，測(cè)試系統(tǒng)的組件可以以平行于制造工廠的地面的單一標(biāo)高(level)的線(xiàn)性尺寸來(lái)配置。因此，這樣的測(cè)試器系統(tǒng)所占用的地面空間通常與組件的面積以及測(cè)試器系統(tǒng)的組件之間的互連的總和相同或大于該總和。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、根據(jù)一些實(shí)施例的多傳送級(jí)測(cè)試器系統(tǒng)包括入口點(diǎn)、出口點(diǎn)、具有第一標(biāo)高的第一傳送級(jí)；以及具有第二標(biāo)高的第二傳送級(jí)，其中，所述第一標(biāo)高與所述第二標(biāo)高不同。所述多傳送級(jí)測(cè)試器系統(tǒng)進(jìn)一步包括第一環(huán)境調(diào)節(jié)室，其被配置為對(duì)uut執(zhí)行第一環(huán)境調(diào)節(jié)；第二環(huán)境調(diào)節(jié)室，其被配置為對(duì)所述uut執(zhí)行第二環(huán)境調(diào)節(jié)；以及第一測(cè)試站，其被配置為對(duì)所述uut執(zhí)行第一測(cè)試。
2、所述入口點(diǎn)可以與所述出口點(diǎn)相鄰。所述多傳送級(jí)測(cè)試器系統(tǒng)可以進(jìn)一步包括：所述多傳送級(jí)測(cè)試器系統(tǒng)的第一端；以及所述多傳送級(jí)測(cè)試器系統(tǒng)的第二端；所述多傳送級(jí)測(cè)試器系統(tǒng)的第一側(cè)；以及所述多傳送級(jí)測(cè)試器系統(tǒng)的第二側(cè)。所述多傳送級(jí)測(cè)試器被配置在所述第一端與所述第二端之間以及在所述第一側(cè)與所述第二側(cè)之間。
3、所述入口點(diǎn)和所述出口點(diǎn)可以被配置在所述多傳送級(jí)測(cè)試器系統(tǒng)的以下中的一個(gè)或多個(gè)處：所述第一端、所述第二端、所述第一側(cè)、以及所述第二側(cè)、以及所述第一端和所述第二端中的至少一個(gè)。
4、所述第一標(biāo)高和第二標(biāo)高分別可以基本上是所述多傳送級(jí)測(cè)試器系統(tǒng)的第一端和第二端之間的標(biāo)高。
5、所述第一標(biāo)高可以在所述第一傳送級(jí)內(nèi)具有可變標(biāo)高。
6、所述第二標(biāo)高可以在所述第二傳送級(jí)內(nèi)具有可變標(biāo)高。
7、所述入口點(diǎn)可以被配置為接收所述uut并且包括第一轉(zhuǎn)運(yùn)(transfer)設(shè)備，所述第一轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備被配置為處置一個(gè)或多個(gè)層級(jí)。
8、所述入口點(diǎn)可以被配置為在所述第二傳送級(jí)中接收所述uut，并且所述第一轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備可以被配置為在所述第二傳送級(jí)內(nèi)在所述一個(gè)或多個(gè)層級(jí)之間移動(dòng)所述uut。
9、所述入口點(diǎn)可以被配置為在所述第一傳送級(jí)中接收所述uut，并且所述第一轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備可以被配置為在所述第一傳送級(jí)內(nèi)在所述一個(gè)或多個(gè)層級(jí)之間移動(dòng)所述uut。
10、所述第一轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備可以包括擱板系統(tǒng)，所述擱板系統(tǒng)具有：針對(duì)至少一個(gè)擱板的一個(gè)或多個(gè)層級(jí)；以及末端執(zhí)行器，其被配置為將uut從所述至少一個(gè)擱板朝向所述第一測(cè)試站移動(dòng)。
11、所述第一測(cè)試站可以被配置為在所述第二傳送級(jí)中接收并輸出所述uut。
12、所述第一測(cè)試站可以被配置為在所述第一傳送級(jí)中接收并輸出所述uut。
13、所述第一環(huán)境調(diào)節(jié)室可以被配置為在所述第二傳送級(jí)中接收并輸出所述uut。
14、所述第一環(huán)境調(diào)節(jié)室可以被配置為在所述第二傳送級(jí)中接收所述uut并且在所述第一傳送級(jí)中輸出所述uut。
15、所述第一環(huán)境調(diào)節(jié)室可以被配置為在所述第一傳送級(jí)中接收所述uut并且在所述第二傳送級(jí)中輸出所述uut。
16、所述第一環(huán)境調(diào)節(jié)室可以被配置為接收所述uut并且可以包括具有一個(gè)或多個(gè)層級(jí)的第二轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備，所述第二轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備可以被配置為在所述一個(gè)或多個(gè)層級(jí)之間移動(dòng)所述uut。
17、所述第一環(huán)境調(diào)節(jié)室可以被配置為在所述第二傳送級(jí)中接收所述uut，并且所述第二轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備可以被配置為在所述第二傳送級(jí)中輸出所述uut。
18、所述第一環(huán)境調(diào)節(jié)室可以被配置為在所述第二傳送級(jí)中接收所述uut，并且所述第二轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備可以被配置為在所述第一傳送級(jí)中輸出所述uut。
19、所述第一環(huán)境調(diào)節(jié)室可以被配置為在所述第一傳送級(jí)中接收所述uut，并且所述第二轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備可以被配置為在所述第二傳送級(jí)中輸出所述uut。
20、所述第二轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備可以包括以下各項(xiàng)中的至少一項(xiàng)：(i)皮帶驅(qū)動(dòng)的輸送機(jī)；(ii)鏈條驅(qū)動(dòng)的輸送機(jī)；(iii)電纜驅(qū)動(dòng)的輸送機(jī)；(iv)2軸或多軸機(jī)器人；以及(iv)擱板系統(tǒng)，其具有在所述一個(gè)或多個(gè)層級(jí)中的層級(jí)處的相應(yīng)擱板、以及末端執(zhí)行器，所述末端執(zhí)行器被配置為朝向所述第一環(huán)境調(diào)節(jié)室的輸出端移動(dòng)所述uut。
21、所述第一環(huán)境調(diào)節(jié)室可以包括環(huán)境控制器，所述環(huán)境控制器被配置為控制以下各項(xiàng)中的至少一項(xiàng)：(i)溫度；(ii)大氣條件；(iii)濕度；(iv)電磁輻射；以及(v)壓力。
22、所述第二環(huán)境調(diào)節(jié)室可以被配置為在所述第二傳送級(jí)中接收所述uut并且在所述第一傳送級(jí)中輸出所述uut。
23、所述第二環(huán)境調(diào)節(jié)室可以被配置為在所述第一傳送級(jí)中接收所述uut并且在所述第二傳送級(jí)中輸出所述uut。
24、所述多傳送級(jí)測(cè)試器系統(tǒng)可以進(jìn)一步包括具有第三標(biāo)高的第三傳送級(jí)，并且所述第二環(huán)境調(diào)節(jié)室可以被配置為在所述第二傳送級(jí)中接收所述uut并且在所述第三傳送級(jí)中輸出所述uut。
25、所述第二環(huán)境調(diào)節(jié)室可以被配置為接收所述uut并且可以包括具有一個(gè)或多個(gè)層級(jí)的第三轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備。所述第三轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備可以被配置為在所述一個(gè)或多個(gè)層級(jí)之間移動(dòng)所述uut。
26、所述第二環(huán)境調(diào)節(jié)室可以被配置為在所述第二傳送級(jí)中接收所述uut，并且所述第三轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備可以被配置為在所述第一傳送級(jí)中輸出所述uut。
27、所述第二環(huán)境調(diào)節(jié)室可以被配置為在所述第一傳送級(jí)中接收所述uut，并且所述第三轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備可以被配置為在所述第二傳送級(jí)中輸出所述uut。
28、所述多傳送級(jí)測(cè)試器系統(tǒng)可以進(jìn)一步包括具有第三標(biāo)高的第三傳送級(jí)，并且所述第二環(huán)境調(diào)節(jié)室可以被配置為在所述第二傳送級(jí)中接收所述uut，并且所述第三轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備可以被配置為在所述第三傳送級(jí)中輸出所述uut。
29、所述第三轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備可以包括以下各項(xiàng)中的至少一項(xiàng)：(i)皮帶驅(qū)動(dòng)的輸送機(jī)；(ii)鏈條驅(qū)動(dòng)的輸送機(jī)；(iii)電纜驅(qū)動(dòng)的輸送機(jī)；(iv)2軸或多軸機(jī)器人；以及(iv)擱板系統(tǒng)，其具有在所述一個(gè)或多個(gè)層級(jí)中的層級(jí)處的相應(yīng)擱板、以及末端執(zhí)行器，所述末端執(zhí)行器被配置為朝向所述第一傳送級(jí)中的第二環(huán)境調(diào)節(jié)室的輸出端移動(dòng)所述uut。
30、所述第三轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備可以包括以下各項(xiàng)中的至少一項(xiàng)：(i)皮帶驅(qū)動(dòng)的輸送機(jī)；(ii)鏈條驅(qū)動(dòng)的輸送機(jī)；(iii)電纜驅(qū)動(dòng)的輸送機(jī)；(iv)2軸或多軸機(jī)器人；以及(iv)擱板系統(tǒng)，其具有在所述一個(gè)或多個(gè)層級(jí)中的層級(jí)處的相應(yīng)擱板、以及末端執(zhí)行器，所述末端執(zhí)行器被配置為朝向所述第二傳送級(jí)中的第二環(huán)境調(diào)節(jié)室的輸出端移動(dòng)所述uut。
31、所述第三轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備可以包括以下各項(xiàng)中的至少一項(xiàng)：(i)皮帶驅(qū)動(dòng)的輸送機(jī)；(ii)鏈條驅(qū)動(dòng)的輸送機(jī)；(iii)電纜驅(qū)動(dòng)的輸送機(jī)；(iv)2軸或多軸機(jī)器人；以及(iv)擱板系統(tǒng)，其具有在所述一個(gè)或多個(gè)層級(jí)中的層級(jí)處的相應(yīng)擱板、以及末端執(zhí)行器，所述末端執(zhí)行器被配置為朝向所述第三傳送級(jí)中的第二環(huán)境調(diào)節(jié)室的輸出端移動(dòng)所述uut。
32、所述第二環(huán)境調(diào)節(jié)室可以包括環(huán)境控制器，所述環(huán)境控制器被配置為控制以下各項(xiàng)中的至少一項(xiàng)：(i)溫度；(ii)大氣條件；(iii)濕度；(iv)電磁輻射；以及(v)壓力。
33、所述多傳送級(jí)測(cè)試器系統(tǒng)可以進(jìn)一步包括第二測(cè)試站，其可以被配置為在所述第二傳送級(jí)中接收并輸出所述uut。
34、所述多傳送級(jí)測(cè)試器系統(tǒng)可以進(jìn)一步包括第二測(cè)試站，其可以被配置為在所述第一傳送級(jí)中接收并輸出所述uut。
35、所述多傳送級(jí)測(cè)試器系統(tǒng)可以進(jìn)一步包括第三測(cè)試站，其可以被配置為在所述第一傳送級(jí)中接收并輸出所述uut。
36、所述多傳送級(jí)測(cè)試器系統(tǒng)可以進(jìn)一步包括第三測(cè)試站，其可以被配置為在所述第二傳送級(jí)中接收并輸出所述uut。
37、所述多傳送級(jí)測(cè)試器系統(tǒng)可以進(jìn)一步包括第四測(cè)試站，其可以被配置為在所述第一傳送級(jí)中接收并輸出所述uut。
38、所述多傳送級(jí)測(cè)試器系統(tǒng)可以進(jìn)一步包括第四測(cè)試站，其可以被配置為在所述第二傳送級(jí)中接收并輸出所述uut。
39、所述多傳送級(jí)測(cè)試器系統(tǒng)可以進(jìn)一步包括：具有第三標(biāo)高的第三傳送級(jí)；以及第三測(cè)試站，其可以被配置為在所述第二傳送級(jí)中接收所述uut并且將所述uut輸出到所述第三傳送級(jí)。
40、所述出口點(diǎn)可以被配置為輸出所述uut并且可以包括具有一個(gè)或多個(gè)層級(jí)的第四轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備。
41、所述出口點(diǎn)可以被配置為在所述第一傳送級(jí)中接收并輸出所述uut，并且所述第四轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備可以被配置為在所述第一傳送級(jí)內(nèi)在所述一個(gè)或多個(gè)層級(jí)之間移動(dòng)所述uut。
42、所述第四轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備可以包括擱板系統(tǒng)，所述擱板系統(tǒng)具有：針對(duì)至少一個(gè)擱板的一個(gè)或多個(gè)層級(jí)；以及末端執(zhí)行器，其被配置為將uut從所述至少一個(gè)擱板朝向所述出口點(diǎn)的輸出端移動(dòng)。
43、所述多傳送級(jí)測(cè)試器系統(tǒng)可以包括線(xiàn)性占用空間，所述線(xiàn)性占用空間比至少所述入口點(diǎn)、所述出口點(diǎn)、所述第一環(huán)境調(diào)節(jié)室、所述第二環(huán)境調(diào)節(jié)室和所述第一測(cè)試站的一個(gè)傳送級(jí)中的線(xiàn)性布置小約30％-70％。
44、所述uut可以包括基于半導(dǎo)體的功率模塊。
45、一些實(shí)施例的多傳送級(jí)測(cè)試器系統(tǒng)包括入口點(diǎn)、至少一個(gè)出口點(diǎn)、具有第一標(biāo)高的第一傳送級(jí)、以及具有至少一個(gè)附加標(biāo)高的至少一個(gè)附加傳送級(jí)。所述第一標(biāo)高與所述至少一個(gè)附加標(biāo)高不同。所述多傳送級(jí)測(cè)試器系統(tǒng)進(jìn)一步包括：至少一個(gè)環(huán)境調(diào)節(jié)室，其被配置為對(duì)多個(gè)被測(cè)單元執(zhí)行環(huán)境調(diào)節(jié)；以及至少一個(gè)測(cè)試站，其被配置為對(duì)所述多個(gè)被測(cè)單元執(zhí)行至少一個(gè)測(cè)試。
46、所述入口點(diǎn)和所述至少一個(gè)出口點(diǎn)可以被配置在所述多傳送級(jí)測(cè)試器系統(tǒng)的以下中的一個(gè)或多個(gè)處：所述第一端、所述第二端、所述第一側(cè)、以及所述第二側(cè)、以及所述第一端和所述第二端中的至少一個(gè)。
47、所述第一標(biāo)高和所述至少一個(gè)附加標(biāo)高分別可以基本上是所述多傳送級(jí)測(cè)試器系統(tǒng)的第一端和第二端之間的標(biāo)高。
48、所述第一標(biāo)高可以在所述第一傳送級(jí)內(nèi)具有可變標(biāo)高。
49、所述至少一個(gè)附加標(biāo)高可以在所述至少一個(gè)附加傳送級(jí)內(nèi)具有可變標(biāo)高。
50、所述入口點(diǎn)可以被配置為接收所述被測(cè)單元并且可以包括第一轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備，所述第一轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備被配置為處置一個(gè)或多個(gè)層級(jí)。
51、所述入口點(diǎn)可以被配置為在所述至少一個(gè)附加傳送級(jí)中接收所述被測(cè)單元，并且所述第一轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備可以被配置為在所述至少一個(gè)附加傳送級(jí)內(nèi)在所述一個(gè)或多個(gè)層級(jí)之間移動(dòng)所述被測(cè)單元。
52、所述入口點(diǎn)可以被配置為在所述第一傳送級(jí)中接收所述被測(cè)單元，并且所述第一轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備可以被配置為在所述第一傳送級(jí)內(nèi)在所述一個(gè)或多個(gè)層級(jí)之間移動(dòng)所述被測(cè)單元。
53、所述第一轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備可以包括擱板系統(tǒng)，所述擱板系統(tǒng)具有：針對(duì)至少一個(gè)擱板的一個(gè)或多個(gè)層級(jí)；以及末端執(zhí)行器，其被配置為將被測(cè)單元從所述至少一個(gè)擱板朝向所述第一測(cè)試站移動(dòng)。
54、所述第一測(cè)試站可以被配置為在所述至少一個(gè)附加傳送級(jí)中接收并輸出所述被測(cè)單元。
55、所述第一測(cè)試站可以被配置為在所述第一傳送級(jí)中接收并輸出所述被測(cè)單元。
56、所述至少一個(gè)環(huán)境調(diào)節(jié)室可以被配置為在所述至少一個(gè)附加傳送級(jí)中接收并輸出所述被測(cè)單元。
57、所述至少一個(gè)環(huán)境調(diào)節(jié)室可以被配置為在所述至少一個(gè)附加傳送級(jí)中接收所述被測(cè)單元并且在所述第一傳送級(jí)中輸出所述被測(cè)單元。
58、所述至少一個(gè)環(huán)境調(diào)節(jié)室可以被配置為在所述第一傳送級(jí)中接收所述被測(cè)單元并且在所述至少一個(gè)附加傳送級(jí)中輸出所述被測(cè)單元。
59、所述至少一個(gè)環(huán)境調(diào)節(jié)室可以被配置為接收所述被測(cè)單元并且可以包括具有一個(gè)或多個(gè)層級(jí)的第二轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備，所述第二轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備被配置為在所述一個(gè)或多個(gè)層級(jí)之間移動(dòng)所述被測(cè)單元。
60、所述至少一個(gè)環(huán)境調(diào)節(jié)室可以被配置為在所述至少一個(gè)附加傳送級(jí)中接收所述被測(cè)單元，并且所述第二轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備可以被配置為在所述至少一個(gè)附加傳送級(jí)中輸出所述被測(cè)單元。
61、所述至少一個(gè)環(huán)境調(diào)節(jié)室可以被配置為在所述至少一個(gè)附加傳送級(jí)中接收所述被測(cè)單元，并且所述第二轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備可以被配置為在所述第一傳送級(jí)中輸出所述被測(cè)單元。
62、所述至少一個(gè)環(huán)境調(diào)節(jié)室可以被配置為在所述第一傳送級(jí)中接收所述被測(cè)單元，并且所述第二轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備可以被配置為在所述至少一個(gè)附加傳送級(jí)中輸出所述被測(cè)單元。
63、所述第二轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備可以包括以下各項(xiàng)中的至少一項(xiàng)：(i)皮帶驅(qū)動(dòng)的輸送機(jī)；(ii)鏈條驅(qū)動(dòng)的輸送機(jī)；(iii)電纜驅(qū)動(dòng)的輸送機(jī)；(iv)2軸或多軸機(jī)器人；以及(v)擱板系統(tǒng)，其具有在所述一個(gè)或多個(gè)層級(jí)中的層級(jí)處的相應(yīng)擱板、以及末端執(zhí)行器，所述末端執(zhí)行器被配置為朝向所述至少一個(gè)環(huán)境調(diào)節(jié)室的輸出端移動(dòng)所述被測(cè)單元。
64、所述至少一個(gè)環(huán)境調(diào)節(jié)室可以包括環(huán)境控制器，所述環(huán)境控制器被配置為控制以下各項(xiàng)中的至少一項(xiàng)：(i)溫度；(ii)大氣條件；(iii)濕度；(iv)電磁輻射；以及(v)壓力。
65、所述至少一個(gè)出口點(diǎn)可以被配置為在所述第一傳送級(jí)中接收并輸出所述被測(cè)單元，并且所述第四轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備可以被配置為在所述第一傳送級(jí)內(nèi)在所述一個(gè)或多個(gè)層級(jí)之間移動(dòng)所述被測(cè)單元。
66、所述第四轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備可以包括擱板系統(tǒng)，所述擱板系統(tǒng)具有：針對(duì)至少一個(gè)擱板的一個(gè)或多個(gè)層級(jí)；以及末端執(zhí)行器，其被配置為將被測(cè)單元從所述至少一個(gè)擱板朝向所述出口點(diǎn)的輸出端移動(dòng)。
67、所述多傳送級(jí)測(cè)試器系統(tǒng)可以包括線(xiàn)性占用空間，所述線(xiàn)性占用空間比至少所述入口點(diǎn)、所述至少一個(gè)出口點(diǎn)、所述至少一個(gè)環(huán)境調(diào)節(jié)室和所述第一測(cè)試站的一個(gè)傳送級(jí)中的線(xiàn)性布置小約30％-70％。
68、本公開(kāi)的附加特征、優(yōu)點(diǎn)和方面可以被闡述，或者根據(jù)考慮以下詳述的描述、附圖和權(quán)利要求是顯而易見(jiàn)的。此外，要理解，本公開(kāi)前面的概述和下面的詳細(xì)描述兩者包括示例并且旨在提供進(jìn)一步的解釋?zhuān)幌拗扑蟊Ｗo(hù)的本公開(kāi)的范圍。