本技術涉及半導體制造領域，具體是一種旋轉軸底座。
背景技術：
1、外延機臺的旋轉軸與旋轉架是半導體制造過程中重要的組成部分，主要用于薄膜沉積和晶圓加工。
2、外延機臺旋轉軸與旋轉架安裝后，由于旋轉軸較長，轉動時會存在左右搖晃的問題，每次需要重新安裝固定或者更換旋轉軸。
3、因此，針對上述問題提出一種旋轉軸底座。
技術實現思路
1、為了彌補現有技術的不足，解決外延機臺旋轉軸與旋轉架安裝后，由于旋轉軸較長，轉動時會存在左右搖晃的問題，每次需要重新安裝固定或者更換旋轉軸的問題，本實用新型提出一種旋轉軸底座。
2、本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：本實用新型所述的一種旋轉軸底座，包括底座本體和旋轉軸本體；所述底座本體頂部中間開設有安裝槽，所述旋轉軸本體垂直的安裝在安裝槽中，所述底座本體側壁上均勻的開設有安裝孔，所述安裝孔與安裝槽連通，所述安裝孔中螺紋安裝有固定螺栓，所述固定螺栓的端部抵接在旋轉軸本體側壁上。
3、優選的，所述安裝槽中安裝有安裝塊，所述安裝塊與安裝槽適配，所述安裝塊中間開設有凹槽，所述凹槽中間固定連接有插桿，所述旋轉軸本體的底端中間開設有插孔，所述插桿活動插接在插孔中。
4、優選的，所述安裝孔和固定螺栓均設有三組，且每組之間相互呈120度角分布在旋轉軸本體的側邊。
5、優選的，所述安裝塊的外側壁上固定安裝有限位塊，所述安裝槽內壁開設有限位槽，所述限位塊滑動設置在限位槽中。
6、優選的，所述安裝塊的側壁上開設有通孔，所述通孔與安裝孔一一對應，所述固定螺栓端部貫穿所述通孔與旋轉軸本體抵接。
7、優選的，所述底座本體上多組固定孔。
8、優選的，所述插孔內壁設有內螺紋，所述插桿外部設有外螺紋，所述插桿螺旋安裝在插孔內部。
9、本實用新型的有益之處在于：
10、1.本實用新型通過在底座本體側壁均勻開設安裝孔，并且在安裝孔中螺紋安裝固定螺栓，旋進固定螺栓，使得固定螺栓的端部抵接在旋轉軸本體的側壁上，以便對旋轉軸本體進行限位，使其旋轉時穩定不晃動。
11、2.本實用新型通過在安裝槽中設置安裝塊，通過插桿和插孔配合，使得旋轉軸本體穩定的安裝在安裝塊中間，并且保持豎直狀態，進一步對旋轉軸本體進行限位。
1.一種旋轉軸底座，其特征在于：包括底座本體(1)和旋轉軸本體(2)；所述底座本體(1)頂部中間開設有安裝槽(11)，所述旋轉軸本體(2)垂直的安裝在安裝槽(11)中，所述底座本體(1)側壁上均勻的開設有安裝孔(4)，所述安裝孔(4)與安裝槽(11)連通，所述安裝孔(4)中螺紋安裝有固定螺栓(6)，所述固定螺栓(6)的端部抵接在旋轉軸本體(2)側壁上。
2.根據權利要求1所述的一種旋轉軸底座，其特征在于：所述安裝槽(11)中安裝有安裝塊(3)，所述安裝塊(3)與安裝槽(11)適配，所述安裝塊(3)中間開設有凹槽(33)，所述凹槽(33)中間固定連接有插桿(34)，所述旋轉軸本體(2)的底端中間開設有插孔(21)，所述插桿(34)活動插接在插孔(21)中。
3.根據權利要求2所述的一種旋轉軸底座，其特征在于：所述安裝孔(4)和固定螺栓(6)均設有三組，且每組之間相互呈120度角分布在旋轉軸本體(2)的側邊。
4.根據權利要求3所述的一種旋轉軸底座，其特征在于：所述安裝塊(3)的外側壁上固定安裝有限位塊(31)，所述安裝槽(11)內壁開設有限位槽(12)，所述限位塊(31)滑動設置在限位槽(12)中。
5.根據權利要求4所述的一種旋轉軸底座，其特征在于：所述安裝塊(3)的側壁上開設有通孔(32)，所述通孔(32)與安裝孔(4)一一對應，所述固定螺栓(6)端部貫穿所述通孔(32)與旋轉軸本體(2)抵接。
6.根據權利要求5所述的一種旋轉軸底座，其特征在于：所述底座本體(1)上多組固定孔(5)。
7.根據權利要求6所述的一種旋轉軸底座，其特征在于：所述插孔(21)內壁設有內螺紋，所述插桿(34)外部設有外螺紋，所述插桿(34)螺旋安裝在插孔(21)內部。