本技術(shù)屬于半導(dǎo)體集成電路制造領(lǐng)域，涉及一種燈箱結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
1、在集成電路制造的化學(xué)氣相沉積(cvd)領(lǐng)域中，基于反應(yīng)物在紫外光波段下發(fā)生斷鍵反應(yīng)，利用紫外光對(duì)沉積后的膜層進(jìn)行處理是十分重要的處理手段，例如，bdⅱ工藝(black?diamond?ii納米多孔低介電常數(shù)薄膜的制造工藝)中造孔劑的斷鍵、cesl(接觸刻蝕阻擋層應(yīng)變層)工藝的sin中si-h斷鍵及fcvd(流動(dòng)化學(xué)氣相沉積)中膜層的固化等，均需要采用紫外光進(jìn)行斷鍵處理。沉積腔室中紫外光處理的核心部件為紫外燈箱，其光路結(jié)構(gòu)如圖1所示，包括殼體01、光源02、石英窗口03、上氣體噴淋頭04、下氣體噴淋頭05、加熱臺(tái)06及晶圓061。但是通過這種光路的紫外燈箱處理后，膜層的厚度相對(duì)較厚，膜層的致密度及平坦度也較差，處理后的膜層質(zhì)量相對(duì)較差，且沉積膜層的處理程度難以控制。
2、因此，急需尋找一種能夠控制沉積膜層的紫外光處理程度且可以提升膜層質(zhì)量的燈箱結(jié)構(gòu)。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的在于提供一種燈箱結(jié)構(gòu)，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中紫外燈箱的紫外光的處理后的膜層質(zhì)量較差且紫外光的處理程度難以控制的問題。
2、為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實(shí)用新型提供了一種燈箱結(jié)構(gòu)，包括：
3、殼體；
4、光源組件，固定于所述殼體頂部；
5、聚光結(jié)構(gòu)，位于所述光源組件出射的光線的光路上且與所述殼體連接；
6、第一氣體分配部，位于所述聚光結(jié)構(gòu)聚集的光線的光路上且與所述殼體之間密封連接；
7、第二氣體分配部，位于透過所述第一氣體分配部的光線的光路上且與所述殼體之間密封連接；
8、加熱臺(tái)，位于透過所述第二氣體分配部的光線的光路上且與所述聚光結(jié)構(gòu)間隔預(yù)設(shè)距離。
9、可選地，所述聚光結(jié)構(gòu)與所述殼體之間固定連接。
10、可選地，所述聚光結(jié)構(gòu)與所述殼體之間密封連接。
11、可選地，所述聚光結(jié)構(gòu)的下方還設(shè)有固定于所述殼體上且與所述聚光結(jié)構(gòu)間隔預(yù)設(shè)距離的透光窗，所述透光窗與所述殼體之間密封連接，且所述透光窗位于所述第一氣體分配部的上方。
12、可選地，所述聚光結(jié)構(gòu)與所述殼體之間密封且活動(dòng)連接。
13、可選地，所述聚光結(jié)構(gòu)移動(dòng)的距離范圍為0.1cm～8cm。
14、可選地，所述聚光結(jié)構(gòu)與所述殼體之間活動(dòng)連接，所述聚光結(jié)構(gòu)的下方還設(shè)有固定于所述殼體上且與所述聚光結(jié)構(gòu)間隔預(yù)設(shè)距離的透光窗，所述透光窗與所述殼體之間密封連接。
15、可選地，所述聚光結(jié)構(gòu)包括凸透鏡、光學(xué)組合件中的一種。
16、可選地，所述聚光結(jié)構(gòu)為凸透鏡，所述聚光結(jié)構(gòu)與所述加熱臺(tái)之間的距離小于所述聚光結(jié)構(gòu)的一倍焦距，所述聚光結(jié)構(gòu)在所述加熱臺(tái)上所聚集的最大光斑的尺寸不小于待處理晶圓的尺寸。
17、可選地，所述聚光結(jié)構(gòu)的耐受溫度不低于450℃。
18、如上所述，本實(shí)用新型的燈箱結(jié)構(gòu)通過于光源組件與第一氣體分配部之間設(shè)置聚光結(jié)構(gòu)，使光源組件出射紫外光的光路聚合并在加熱臺(tái)上形成預(yù)設(shè)尺寸的光斑，減少了紫外光的損失，改善了光線的分布情況，提升了處理后的膜層的致密度及平坦度，繼而提升了紫外光的處理效果，提高了處理后的膜層質(zhì)量。此外，通過調(diào)控聚光結(jié)構(gòu)或者聚光結(jié)構(gòu)與加熱臺(tái)之間的距離，可以調(diào)控加熱臺(tái)上光斑的尺寸，以調(diào)控紫外光的分布情況，繼而實(shí)現(xiàn)對(duì)沉積膜層的紫外光處理程度和處理后的平坦度的調(diào)控，具有高度產(chǎn)業(yè)利用價(jià)值。
1.一種燈箱結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的燈箱結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述聚光結(jié)構(gòu)與所述殼體之間固定連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的燈箱結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述聚光結(jié)構(gòu)與所述殼體之間密封連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的燈箱結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述聚光結(jié)構(gòu)的下方還設(shè)有固定于所述殼體上且與所述聚光結(jié)構(gòu)間隔預(yù)設(shè)距離的透光窗，所述透光窗與所述殼體之間密封連接，且所述透光窗位于所述第一氣體分配部的上方。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的燈箱結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述聚光結(jié)構(gòu)與所述殼體之間密封且活動(dòng)連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的燈箱結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述聚光結(jié)構(gòu)移動(dòng)的距離范圍為0.1cm～8cm。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的燈箱結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述聚光結(jié)構(gòu)與所述殼體之間活動(dòng)連接，所述聚光結(jié)構(gòu)的下方還設(shè)有固定于所述殼體上且與所述聚光結(jié)構(gòu)間隔預(yù)設(shè)距離的透光窗，所述透光窗與所述殼體之間密封連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的燈箱結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述聚光結(jié)構(gòu)包括凸透鏡、光學(xué)組合件中的一種。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的燈箱結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述聚光結(jié)構(gòu)為凸透鏡，所述聚光結(jié)構(gòu)與所述加熱臺(tái)之間的距離小于所述聚光結(jié)構(gòu)的一倍焦距，所述聚光結(jié)構(gòu)在所述加熱臺(tái)上所聚集的最大光斑的尺寸不小于待處理晶圓的尺寸。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的燈箱結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述聚光結(jié)構(gòu)的耐受溫度不低于450℃。