技術(shù)編號：42326778
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及傳感器的，特別是一種硅-玻璃結(jié)構(gòu)傳感器的制備工藝。背景技術(shù)、由于硅材料具有很好的力學(xué)性能，隨著半導(dǎo)體工藝的成熟，就有了用硅材料制作傳感器的手段。首先，進(jìn)行研究、制作的是硅壓阻式壓力傳感器。硅壓阻式壓力傳感器具有尺寸小、結(jié)構(gòu)與制作工藝簡單、傳感靈敏度高等特點(diǎn)，不足之處是傳感器的抗干擾能力差,溫度影響大。由硅和玻璃鍵合制作的電容式壓力傳感器除了與硅壓阻式壓力傳感器具有尺寸小、結(jié)構(gòu)、制作工藝簡單、傳感靈敏度高等特點(diǎn)外，還具有結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性好、強(qiáng)度高、抗干擾能力強(qiáng)、測量穩(wěn)定性好、溫度影響小，有理...
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