技術編號：42207774
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本技術涉及mems，特別涉及一種傳感器以及應用該傳感器的電子設備。背景技術、mems(micro-electro-mechanical?system，微機電系統)技術是近年來高速發展的一項高新技術，它采用先進的半導體制造工藝，實現傳感器、驅動器等器件的批量制造，與對應的傳統器件相比，mems器件在體積、功耗、重量以及價格方面有十分明顯的優勢。、隨著科技的高速發展，電子設備(例如手機、耳機、電腦)的應用越來越廣泛。電子設備對潔凈度要求較高，為保證主板電路清潔，smd后會有清洗要求，而為了達到完...
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