專利名稱：雙段羅茨真空泵的制作方法
技術領域：
雙段羅茨真空泵，屬于真空獲得設備領域。
背景技術：
雙段羅茨真空泵是一種新型干式真空泵，在我國產品制造基本還處于空白狀態， 本公司研發的ZJ系列單級羅茨真空泵填補了此項空白，由于在真空度要求比較高的場合， 需要使用兩臺或多臺串并聯才能夠實現，但兩臺或多臺串并聯一是結構大占地面積大，且 容易出現管路的連接泄漏點，真空泵的利用效率低，能耗大，成本高。
實用新型內容本實用新型要解決的技術問題是克服現有技術的不足，提供一種結構緊湊，占用 空間小、降低功耗、便于維修維護，大大降低了使用成本的雙段羅茨真空泵。本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是該雙段羅茨真空泵，包括電機、 支架、聯軸器、前、后蓋、其特征在于設置一對平行安裝的主動轉子軸和從動轉子軸、長泵 體和短泵體，在主動轉子軸和從動轉子軸左端設置同步齒輪，兩對“8”字型的轉子相互垂直 的安裝在主動轉子軸和從動轉子軸上，在長泵體和短泵體中間設置中間壁，前、后軸承、前 壁，電機通過聯軸器與主動轉子軸相連，主動轉子軸通過同步齒輪與從動轉子軸連接，主、 從動轉子軸通過前、后軸承安裝在長泵體和短泵體內。主動轉子軸上有長短兩個轉子、從動轉子軸上有長短兩個轉子，中間壁作為高、低 真空腔的通道。
0006]在轉子與泵體內壁之間，轉子與轉子之間，轉子與端壁之間，保持有一定的間隙 一般為0. 2-0. 35mm。間隙的作用是為了補償金屬熱膨脹，防止各相對運動部件發生摩擦。工作原理本雙段羅茨真空泵由高、低真空腔組成，氣體先進入高真空腔。開始轉子Rl垂直， 轉子R2水平，轉子R1、R2開始按相反方向旋轉，氣體由吸入口 15進入泵腔，吸入壓力為PA， 當轉子Rl旋轉至水平，轉子R2旋轉至垂直時，一部分氣體Vl被轉子R2與泵體封閉，同時 另一抽氣過程開始，隨著兩個轉子進一步旋轉，轉子R2底部轉過排氣口 16邊緣，被封閉氣 體Vl進入排氣口，達到排氣壓力Pv后經過中間壁上的排氣通道進入低真空腔；在低真空腔 內的氣體吸排氣過程與在高真空腔內相同，最后氣體從泵排氣口 16排出。轉子R1、R2每旋 轉一周，將分別兩次排出氣體VI。與現有技術相比，本實用新型的雙段羅茨真空泵所具有的有益效果是雙段羅茨 真空泵將兩臺串聯的單級羅茨真空泵集成為一體，結構緊湊，占用空間小；高低真空腔之間 內部連接，使內部結構得以優化，減少了兩泵之間連接管路的泄漏量，提高了機組的性能指 標，提高了真空泵的工作效率。降低了功耗。減少了機組附助管件，更有利于機組的制作與 維護。另外，零部件少，便于維修維護，大大降低了使用成本。
圖1是本實用新型的雙段羅茨真空泵外形結構示意圖；圖2是圖1的右視圖；圖3是圖1的左視圖；圖4是圖1的A-A剖視示意圖；圖5-8是本實用新型的雙段羅茨真空泵的工作原理示意圖。圖1-8是本實用新型的最佳實施例。其中1、電機2、支架3、聯軸器4、同步 齒輪 5、前蓋6、前壁 7、中間壁 8、后蓋9、主動轉子軸 10、后軸承 11、從動轉子 軸 12、短泵體 13、長泵體 14、前軸承 15、吸入口 16、排氣口 Pa、吸入壓力 Pv、排 氣壓力V1、被封閉氣體A、高真空腔B、低真空腔。
具體實施方式
以下結合附圖1-8對本實用新型的雙段羅茨真空泵做進一步說明參照圖1-4:本實用新型的雙段羅茨真空泵由電機1、支架2、聯軸器3、同步齒輪4、前蓋5、前 壁6、中間壁7、后蓋8、主動轉子軸9、后軸承10、從動轉子軸11、短泵體12、長泵體13、前軸 承14組成。設置一對平行安裝的主動轉子軸9和從動轉子軸11、長泵體13和短泵體12， 在主動轉子軸9和從動轉子軸11左端設置同步齒輪4，兩對“8”字型的轉子相互垂直的安 裝在主動轉子軸9和從動轉子軸11上，在長泵體13和短泵體12中間設置中間壁7，前、后 軸承14、10、前壁6，電機1通過聯軸器3與主動轉子軸9相連，主動轉子軸9通過同步齒輪 4與從動轉子軸11連接，主、從動轉子軸9、11通過前、后軸承14、10安裝在長泵體13和短 泵體12內。主動轉子軸9上有長短兩個轉子、從動轉子軸11上有長短兩個轉子。中間壁7 作為高、低真空腔的通道。在轉子之間，轉子與泵殼內壁之間，轉子與轉子之間保持有一定 的間隙。一般為0. 2-0. 35mm。參照圖5-8:工作原理與工作過程是在高低真空泵腔內，各有一對“8”字型的轉子安裝在一 對平行的轉子軸上，軸的兩端由軸承支撐，由一對同步齒輪帶動作反向旋轉運動。轉子之 間，轉子與泵殼內壁之間，轉子與端壁之間均保持一定的間隙，可以實現高轉速運行。由于轉子的不斷旋轉，被抽氣體從吸氣口先進入高真空腔，再經過中壁的氣道進 入低真空腔。氣體先進入高真空腔，開始轉子Rl垂直，轉子R2水平，轉子Rl、R2開始按相反方 向旋轉，氣體由吸入口 15進入泵腔，吸入壓力為PA，當轉子Rl旋轉至水平，轉子R2旋轉至 垂直時，一部分氣體Vl被轉子R2與泵體封閉，同時另一抽氣過程開始，隨著兩個轉子進一 步旋轉，轉子R2底部轉過排氣口 16邊緣，被封閉氣體Vl進入排氣口，達到排氣壓力Pv后 經過中間壁上的排氣通道進入低真空腔；在低真空腔內的氣體吸排氣過程與在高真空腔內 相同，最后氣體從泵排氣口 16排出。轉子R1、R2每旋轉一周，將分別兩次排出氣體VI。以上所述，僅是本實用新型的較佳實施例而已，并非是對本實用新型作其它形式 的限制，任何熟悉本專業的技術人員可能利用上述揭示的技術內容加以變更或改型為等同 變化的等效實施例。但凡是未脫離本實用新型技術方案內容，依據本實用新型的技術實質
4對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與改型，仍屬于本實用新型技術方案的保護 范圍。
權利要求雙段羅茨真空泵，包括電機(1)、支架(2)、聯軸器(3)、前、后蓋(5、8)、其特征在于設置一對平行安裝的主動轉子軸(9)和從動轉子軸(11)、長泵體(13)和短泵體(12)，在主動轉子軸(9)和從動轉子軸(11)左端設置同步齒輪(4)，兩對橫截面為“8”字型的轉子相互垂直的安裝在主動轉子軸(9)和從動轉子軸(11)上，在長泵體(13)和短泵體(12)中間設置中間壁(7)，前、后軸承(14、10)、前壁(6)，電機(1)通過聯軸器(3)與主動轉子軸(9)相連，主動轉子軸(9)通過同步齒輪(4)與從動轉子軸(11)連接，主、從動轉子軸(9、11)通過前、后軸承(14、10)安裝在長泵體(13)和短泵體(12)內。
2.根據權利要求1所述的雙段羅茨真空泵，其特征在于主動轉子軸(9)上有長短兩 個轉子，從動轉子軸(11)上有長短兩個轉子，中間壁(7)作為高、低真空腔的通道。
3.根據權利要求1或2所述的雙段羅茨真空泵，其特征在于在轉子與泵體內壁之間， 轉子與轉子之間，轉子與端壁之間設有間隙。
專利摘要雙段羅茨真空泵，屬于真空獲得設備領域。設置一對平行安裝的主動轉子軸(9)和從動轉子軸(11)、長泵體(13)和短泵體(12)，在主動轉子軸(9)和從動轉子軸(11)左端設置同步齒輪(4)，兩對橫截面為“8”字型的轉子相互垂直的安裝在主動轉子軸(9)和從動轉子軸(11)上，在長泵體(13)和短泵體(12)中間設置中間壁(7)，前、后軸承(14、10)、前壁(6)，電機(1)通過聯軸器(3)與主動轉子軸(9)相連，主動轉子軸(9)通過同步齒輪(4)與從動轉子軸(11)連接，主、從動轉子軸(9、11)通過前、后軸承(14、10)安裝在長泵體(13)和短泵體(12)內。具有結構緊湊，占用空間小，提高了真空泵的工作效率。降低了功耗等優點。
文檔編號F04C18/14GK201636006SQ201020145419
公開日2010年11月17日 申請日期2010年3月24日 優先權日2010年3月24日
發明者馮啟潤, 林樂忠, 王來彬 申請人:淄博干式真空泵有限公司