本技術涉及半導體制造，特別涉及一種媒介混合供應系統。
背景技術：
1、制冷是半導體工廠中不可或缺的基本功能，對于不同的場景，其所需要的制冷溫度不同，例如對于制程冷卻水系統(pcw)、潔凈室干冷盤管(dcc)、潔凈室新風處理機組(mau)等應用場景，通常需要中溫媒介(約10℃～20℃的媒介)進行制冷；辦公區空調制冷單元(fcu)和潔凈室新風處理機組(mau)等應用場景，通常需要低溫媒介(低于10℃的媒介)進行制冷。
2、故現有的半導體工廠中通常需要配備低溫媒介系統和中溫媒介系統。現有的低溫媒介系統和中溫媒介系統為相互獨立的兩套媒介系統，兩套系統運行過程中媒介互不干擾。對于低溫媒介系統和中溫媒介系統均有額定運行工況范圍，當系統運行在額定工況范圍內時，其運行效率較高，當系統運行在額定工況范圍外時，其運行效率較低。
3、上述媒介系統在實際運行過程中，通常因為負載較低而導致其運行工況點在額定工況范圍外，現有的處理方式通常為暫時停機，以達到節能效果。例如低溫媒介系統常因負載低而頻繁啟停，由于負載低導致的啟停次數一天可達幾十次(正常啟停平均一天1～2次)，一方面影響系統的運行壽命，另一方面也導致能耗較高。
4、經統計，中溫媒介系統和低溫媒介系統運行時，在11月至次年4月的時間段，低溫媒介系統負載低至平均負載22％，低溫媒介系統頻繁啟停現象較為嚴重，中溫媒介系統負載低至平均負載40％。低溫媒介系統和中溫媒介系統均運行在額定工況范圍外，能耗較高。
5、為此本實用新型提供一種媒介混合供應系統，該系統將低溫媒介循環環路和高溫媒介循環環路相連形成一整個混合系統，通過兩循環環路的聯動增大負載，降低能耗。
技術實現思路
1、本實用新型的目的在于提供一種媒介混合供應系統，該系統將低溫媒介循環環路和高溫媒介循環環路相連形成一整個混合系統，通過兩循環環路的聯動增大負載，降低能耗。
2、本實用新型提供了一種媒介混合供應系統，包括：低溫循環環路、中溫循環環路和第一旁通管路；
3、所述低溫循環環路包括低溫制冷機組、低溫進水管路以及低溫出水管路，所述低溫進水管路與所述低溫制冷機組的進液口連接，所述低溫出水管路與所述低溫制冷機組的出液口連接；
4、所述中溫循環環路包括中溫制冷機組、中溫進水管路和中溫出水管路，所述中溫進水管路與所述中溫制冷機組的進液口連接，所述中溫出水管路與所述中溫制冷機組的出液口連接；
5、所述第一旁通管路連接于所述低溫出水管路和中溫出水管路之間。
6、可選地，所述媒介混合供應系統還包括第二旁通管路；
7、所述第二旁通管路連接于所述低溫進水管路以及中溫進水管路之間。
8、可選地，所述媒介混合供應系統還包括第一流量調節閥，所述第一流量調節閥設置于所述第一旁通管路。
9、可選地，所述媒介混合供應系統還包括第二流量調節閥，所述第二流量調節閥設置于所述第二旁通管路。
10、可選地，所述中溫循環環路還包括溫度檢測組件，所述溫度檢測組件設置于所述中溫出水管路，
11、所述第一旁通管路與所述中溫出水管路的連接位置位于所述中溫制冷機組的出液口與所述溫度檢測組件之間。
12、可選地，所述溫度檢測組件包括第一溫度檢測件，所述第一溫度檢測件設置于中溫出水管路并靠近所述連接位置一側。
13、可選地，所述溫度檢測組件包括第二溫度檢測件，所述第二溫度檢測件設置于中溫出水管路并靠近中溫媒介設備的進液口一側。
14、可選地，所述低溫循環環路還包括低溫循環泵，所述低溫循環泵設置于所述低溫進水管路。
15、可選地，所述中溫循環環路還包括中溫循環泵，所述中溫循環泵設置于所述中溫進水管路。
16、可選地，所述低溫循環環路包括低溫循環泵時，所述低溫循環泵位于所述第二旁通管路和所述低溫進水管路的連接位置與所述低溫制冷機組的進液口之間；
17、和/或，所述中溫循環環路包括中溫循環泵時，所述中溫循環泵位于所述第二旁通管路和所述中溫進水管路的連接位置與所述中溫制冷機組的進液口之間。
18、如此配置，第一旁通管路的設置，使得低溫制冷機組的出液口的媒介一部分可分流至中溫出水管路。當低溫循環環路和中溫循環環路的負載較低時，可選擇關閉中溫制冷機組。此時中溫制冷機組單純作為一連通管路的作用，經過低溫制冷機組制冷的低溫媒介一部分可通過第一旁通管路分流至中溫出水管路中，分流的低溫媒介與中溫出水管路中的高溫媒介混合形成中溫媒介，以供給至中溫媒介設備。此時中溫循環環路充當負載加載至低溫循環環路中，一方面使得低溫循環環路的負載升高，有利于使得低溫循環環路的運行工況位于額定工況范圍內，以保證較高的運行效率，進而降低能耗；另一方面，中溫制冷機組被關閉，即低溫循環環路和中溫循環環路通過低溫制冷機組實現制冷，進一步降低能耗；而且低溫制冷機組和中溫制冷機組不需要頻繁的啟停，提高機組的使用壽命。
19、第二旁通管路的設置，使得中溫進水管路內的高溫媒介的一部分可回流至低溫進水管路。當低溫循環環路的負載較低，且中溫循環環路的負載正常或者較高時，低溫循環環路和中溫循環環路同時運行，其中經過中溫媒介設備的高溫媒介一部分流入中溫制冷機組的進液口，另一部回流至低溫進水管路并與低溫進水管路內的媒介混合，使得進入低溫制冷機組的進液口的媒介溫度升高，此時中溫循環環路的一部分媒介充當負載加載至低溫循環環路中，一方面使得低溫循環環路的負載升高，且使得中溫循環環路的負載適當降低，有利于使得低溫循環環路和中溫循環環路的運行工況均位于額定工況范圍內，以保證較高的運行效率，進而降低能耗；另一方面，低溫制冷機組和中溫制冷機組不需要頻繁的啟停，提高機組的使用壽命。
1.一種媒介混合供應系統，其特征在于，包括：低溫循環環路、中溫循環環路和第一旁通管路；
2.如權利要求1所述的媒介混合供應系統，其特征在于，所述媒介混合供應系統還包括第二旁通管路；
3.如權利要求1所述的媒介混合供應系統，其特征在于，所述媒介混合供應系統還包括第一流量調節閥，所述第一流量調節閥設置于所述第一旁通管路。
4.如權利要求2所述的媒介混合供應系統，其特征在于，所述媒介混合供應系統還包括第二流量調節閥，所述第二流量調節閥設置于所述第二旁通管路。
5.如權利要求1所述的媒介混合供應系統，其特征在于，所述中溫循環環路還包括溫度檢測組件，所述溫度檢測組件設置于所述中溫出水管路，
6.如權利要求5所述的媒介混合供應系統，其特征在于，所述溫度檢測組件包括第一溫度檢測件，所述第一溫度檢測件設置于中溫出水管路并靠近所述連接位置一側。
7.如權利要求6所述的媒介混合供應系統，其特征在于，所述溫度檢測組件包括第二溫度檢測件，所述第二溫度檢測件設置于中溫出水管路并靠近中溫媒介設備的進液口一側。
8.如權利要求2所述的媒介混合供應系統，其特征在于，所述低溫循環環路還包括低溫循環泵，所述低溫循環泵設置于所述低溫進水管路。
9.如權利要求2所述的媒介混合供應系統，其特征在于，所述中溫循環環路還包括中溫循環泵，所述中溫循環泵設置于所述中溫進水管路。
10.如權利要求8或9所述的媒介混合供應系統，其特征在于，所述低溫循環環路包括低溫循環泵時，所述低溫循環泵位于所述第二旁通管路和所述低溫進水管路的連接位置與所述低溫制冷機組的進液口之間；